半導体・電子部品製造装置

キャリア洗浄機

キャリア洗浄機

OKH-MR-シリーズ
2流体スプレー洗浄方式の採用により
洗浄効果と乾燥効率が同時にUP!
キャリア洗浄機

概要

キャリア洗浄機は、ウエハキャリアおよびキャリアボックスの洗浄乾燥装置です。
高圧水のシャワーによる洗浄、遠心力とクリーンエアー(またはN₂)による乾燥を行います。

特長

洗浄効果UP!

加圧気体と微粒子化した純水を同時にスプレーすることにより、高噴射圧力の液滴が断続的かつ連続的に噴霧され高圧スプレー以上の洗浄効果を発揮します。

洗浄

乾燥効率UP!

高速回転による遠心力でワーク表面の水滴を飛散させ、同時にフィルターを介したクリーンエアーで乾燥させます。
(N₂仕様も可能) さらに遠心力では飛ばせない水滴を、特殊ノズルによる加圧エアーのブローにより乾きにくい部分もフォローし、乾燥効率UPを実現します。

洗浄

ランニングコストを考慮したエコ仕様

噴霧粒子が微細なため、純水流量も従来に比べて1/3に。(当社比)
装置価格と共にランニングコストにも配慮したエコ設計です。

洗浄

仕様

対応ワーク キャリア × 2ヶ掛け    キャリアBOX × 2ヶ掛け
装置寸法 6inchキャリア用  W950×D1340×H1200(H2020 蓋開時)(mm)
材 質 [本体外装]PVC TSP-333(Ivory) [ローター]SUS304 電解研磨処理
タクト 15min / 回 ※キャリア形状により変動あり
回転数 10~600min-¹   6速設定可能
タイマー設定 0 ~ 999 sec
レシピ 10種類

ユーティリティ

電  源 AC200V±10% 50/60Hz 30A
駆動エアー 圧力:0.5MPa以上 消費量:30L/min(ANR)
乾燥エアー クリーンエアー 圧力:0.3MPa以上 消費量:450L/min(ANR)
純  水 圧力:0.2Mpa以上 純水消費量:12L/min
排気口 VP50 1箇所(チャンバーより) (排気量 8M3/min)
排水口 VP40 1箇所(チャンバーより)

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