半導体・電子部品製造装置
キャリア洗浄機
キャリア洗浄機は、ウエハキャリアおよびキャリアボックスの洗浄乾燥装置です。
高圧水のシャワーによる洗浄、遠心力とクリーンエアー(またはN₂)による乾燥を行います。
加圧気体と微粒子化した純水を同時にスプレーすることにより、高噴射圧力の液滴が断続的かつ連続的に噴霧され高圧スプレー以上の洗浄効果を発揮します。
高速回転による遠心力でワーク表面の水滴を飛散させ、同時にフィルターを介したクリーンエアーで乾燥させます。
(N₂仕様も可能) さらに遠心力では飛ばせない水滴を、特殊ノズルによる加圧エアーのブローにより乾きにくい部分もフォローし、乾燥効率UPを実現します。
噴霧粒子が微細なため、純水流量も従来に比べて1/3に。(当社比)
装置価格と共にランニングコストにも配慮したエコ設計です。
対応ワーク | キャリア × 2ヶ掛け キャリアBOX × 2ヶ掛け |
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装置寸法 | 6inchキャリア用 W950×D1340×H1200(H2020 蓋開時)(mm) |
材 質 | [本体外装]PVC TSP-333(Ivory) [ローター]SUS304 電解研磨処理 |
タクト | 15min / 回 ※キャリア形状により変動あり |
回転数 | 10~600min-¹ 6速設定可能 |
タイマー設定 | 0 ~ 999 sec |
レシピ | 10種類 |
電 源 | AC200V±10% 50/60Hz 30A |
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駆動エアー | 圧力:0.5MPa以上 消費量:30L/min(ANR) |
乾燥エアー | クリーンエアー 圧力:0.3MPa以上 消費量:450L/min(ANR) |
純 水 | 圧力:0.2Mpa以上 純水消費量:12L/min |
排気口 | VP50 1箇所(チャンバーより) (排気量 8M3/min) |
排水口 | VP40 1箇所(チャンバーより) |