サービス・ソリューション
概要
既存の劣化した装置、製造中止となった装置やデバイスを改造・修理して新品同様に復元します。
レトロフィット詳細
対象装置
スピンドライヤー / 基板 / その他 :お問い合わせください
レトロフィットの内容
- 性能アップ・機能の追加
- 故障したメカの修理
- IC交換
- 生産落ち基板の再生・修理
- 生産中止のセンサー・制御基板の置き換え
- 故障した通信・制御基板の解析・信頼性試験
- 故障した通信基板の修理
- デバイスの修理
- リニューアル
- リサイクル
改造・メンテナンス例：スピンドライヤー
- ウエハのインチサイズ変更に伴うチャンバー及びクレードルのサイズ変更
- 乾燥処理数の増加に伴うクレードルの増設
- スピンドライヤー本体内外部の清掃
- 錆発生部の錆取り処理及び汚れ落とし
- 振動による不具合の修正
- ソフト入れ替え、シーケンサー配線直し
- 部品の新規製作、修理、取付、調整
- 組付け後のバランス取り
- エージング、出荷検査
部品の修復、内製から組付後のバランス修正まで全て対応！！
外観
施工前
外板、上蓋等全ての部位にサビと汚れが付着。パーティクル等、品質上悪影響を及ぼす状況です。
施工後
破損部品の交換。表面、内面のバフ研磨、修理後のバランス修正により外観はもちろん稼動状況もスムーズな回転で新品同様に蘇りました。
ボタン部分
施工前
サビ、汚れの付着がひどく非常停止ボタンもとれて、操作不能の状態です。
施工後
操作パネル、スイッチ類を新品に交換。表面も研磨し汚れも無くなりました。
ローター部分
施工前
トラブル時に付いたキズが多数あり。 クレードルも破損しており回転時の遠心力に耐えられない状況です。
施工後
新規設計によりローター、クレードル共新品に交換。チャンバー内もバフ研磨→電解研磨で光沢が蘇りました。
イオナイザー
施工前
イオナイザーは寿命をすぎ動作せず交換の時期だった。すでに同機種は存在しない。
設計変更後
新設計により最新式のものと交換。
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