▼自転式スピンドライヤー（リンサー、比抵抗計付）
弊社の卓上式ウエハ乾燥機 シングルカセットスピンドライヤーはオプション機能として純水リンス、比抵抗計を取り付けることが可能です。
リンス機能を取り付けることでチャンバー内に純水を散布し清掃することが可能です。
また、異物のモニタリングとして、スピンドライヤー内部に比抵抗計を取り付け、比抵抗値が一定の値になると乾燥スタートさせるといったレシピを組むことが可能となります。
その他、チャンバー内にHOT-N2を取り入れることで、遠心乾燥だけでは乾燥しきらないカセットの隙間等の水滴残りの防止や乾燥時間の短縮を図ることが可能となります。
デモ機もございますのでお気軽にお問い合わせください。
詳細はホームページもしくは営業部までお問い合わせください。
