今回ご紹介したいのは
BGテープ(バックグラインドテープ)を自動で剥がす装置です。
テープ剥離工程って一見簡単そうですが、ウェハーをケアしながらの剥がしって意外と難しいですよね。
長〜い工程を経たウン十万円、ウン百万円もする半導体ウェハーになればなおの事大事に扱いたい。
けどもフルオート装置までは不要とお悩みのお客様は今すぐお電話を!!


セミオートープリムーバー(剥がし機)の概要
 半導体ウェハーにラミネートされた表面保護テープ(バックグラインドテープ)を、剥離テープを使用して剥離するセミオート装置です。

お客様の事を考えた特長
 ・8inch12inch又は6inch8inch.を一台の装置で兼用可能。
 ・安心のリトライ機能で剥しミスを防ぎます。
 ・剥離に必要な各種パラメーターが設定可能。(剥離角度、剥離速度、ウエハ吸着圧)
量産セミオートモードと試作テストマニュアルモードの2モードを準備。
 ・テーブル
ヒーター標準搭載。
 ・セラミックポーラステーブルに変更可能。(オプション)
 ・フルカバー取付で安全対策も完璧。(オプション)