概要
ウエーハに貼りつけられた保護テープを、剥離テープを使用して剥離する装置です。

特長
・8in、12inを一台の装置で兼用可能。
・8inと12inで剥がしテープの使用量が変更可能、
小径ウエハの場合は剥離テープの使用量を削減出来ます。
・セミオートモードとマニュアルモードの2モードが選択可能。
・テーブルヒーター標準搭載。