フルオート真空テープマウンタのご紹介
今回はフルオートタイプの真空マウンタをご紹介させて頂きます。
弊社のフルオート真空マウンタは、従来のローラー貼りのような線貼付けではなく、面での貼付けをコンセプトとした新たな貼付け方法を提案したマウンターです。
これによりストレスの生じない低応力貼付けが可能となり、割れやすい化合物や薄厚ウエハでもストレスフリーの貼付けを実現しました。
また、ローラーでは追従の難しかったTAIKOなどウエハ表面に凹凸のあるデバイスに対しても弊社独自の貼付け方法により、ウエハ表面形状に合わせテープを追従させる貼り付けを行うことが可能です。
貼付け部以外でもベルヌーイの定理を利用した非接触搬送や非接触アライメントを搭載することでウエハ供給からアライメント、貼付け、収納までウエハへのダメージの懸念がありません。
その他、昨今トレーサビリティの観点で御要求のあるウエハIDの読み取り（OCR）や読み込んだIDのバーコードプリント・貼付け、またSECS/JEMといった上位通信機能もオプションとして用意し、簡単に組込むことが可能です。
弊社のマウンタの特徴である『プリカット貼り付け』機能も標準で搭載しており、
１）テープロスを極限まで削減
２）樹脂フレーム等高価で柔らかいフレームを傷つけない
といった特徴も加え、ウエハはもちろん、作業者や管理者、周辺部材のことまで配慮した自動機となります。
詳細はホームページまたは営業部までお問い合わせください。
