フルオートUV高圧照射装置
『コンパクト』で『高い照射量』の自動UV照射装置！
【概要】
本装置は作業者によりマガジンをセットして、ウエハダイシング後のフレームに貼られた、
UV硬化型テープに、紫外線を照射する自動装置です。
【特長】
・コンパクトなボディー。
・10通りのレシピ設定可能。（レシピ設定により、速度可変を行います。）
・らくらくタッチパネルより４通りの電力が設定可能。
・積算照射量・紫外線照射強度を表示（照射時のみ）
＊上記装置サイズ：W1300×D1400×H1300mm
（写真：６インチウエハ、８インチ、ダイシングフレーム仕様）
用途
LSIウエハ・メモリウエハ・LEDウエハ・ﾚｰｻﾞｰウエハ・センサーウエハ・パワーデバイスウエハ・その他の様々な工程に流用可能。
詳しいお問合せは『大宮工業 株式会社 営業部』まで！！
ＴＥＬ：0865‐60-0038 URL：http://www.okksg.co.jp/
