プリカット機構内蔵ウエハラミネーター

弊社のプリカット内蔵テープ貼り付け方式によるウエハへのテープラミネートを紹介させて頂きます。

ダイシングフレームにウエハを貼り付けるマウンターは何度か紹介させて頂きましたが、同じ機構を採用したラミネーターもラインナップしております。

弊社のラミネーターは上記写真のようにプリカットによりテープをノッチ形状等任意の形状にカットし、またそのテープを精度よく貼り付けることが出来ます。それにより、めっきやスパッタといったプロセスや搬送時の保護などテープを用いた保護方法をご提案することが可能となります。

プリカット機構内蔵によるウエハラミネートのメリットとして下記の点があげられます。

・従来の後カットでは難しい、ウエハ内側にテープを貼りつける“内貼り”が可能

・装置内でテープのプリカットを行い、テープのムダを極力排除しランニングコストを削減

・基材とセパレータの分離が貼付け直前となり、糊面露出によるコンタミ付着など品質上の懸
念が最小限

・後カット方式で発生するテープのはみだし、ウエハ外周へのカットダメージがない

・テープ経路が簡素であるため、テープ交換、カス回収といった材料交換が容易