前回に引き続き、今回も
BGテープ(バックグラインドテープ、表面保護テープ)剥がす装置のご紹介をさせて頂きます。

前回はセミオート(半自動)タイプを紹介させて頂きましたが、

『もっとシンプルに!!』『低コストで!!』というリクエストにお答えし、隠し玉をご紹介します。


用途はもちろん・・・
半導体ウェハーにラミネートされた表面保護テープ(バックグラインドテープ)を、剥離テープを使用して剥離するマニュアル装置です。

 

特長
 ・6inchウェハー、8inchウェハー.を一台の装置で兼用可能。
・とにかく
簡単操作。
 ・簡単とはいえ、剥がしに必要とされる各種条件設定が可能
  (ステージ温度/剥離角度調整)
 ・セラミックポーラステーブルに変更可能。(オプション)
 ・ご準備頂くのは100Vのコンセントと圧縮エアーだけ。