製品名
『フルオートBGテープリムーバー』
装置概要：
表面保護を目的としたバックグラインド用テープ等をUV照射した後、
剥離する自動装置です。
装置外観
対象ワーク
・8inch（200mm）、8inch TAIKO(t=50um)、6inch（150mm）ウエハ
・各種表面保護テープ
新機能：ウエハ裏面非接触機能
ウエハの裏面を非接触で搬送〜剥離〜収納が可能となっており、
裏面プロセス後の品質向上におすすめです。
また、SECS通信への対応も始めましたので、工程の自動化と
品質管理にお役立て頂けます。
