▼自転式スピンドライヤー
弊社の主力製品のひとつとしてスピンドライヤーがあります。
その中で自転式シングルカセットスピンドライヤーを紹介します。
その名の通りキャリアカセットを1個挿入し、ウエハのセンター付近を中心にキャリアカセットごと回転させる乾燥方式となります。
スタンドアローンの公転式スピンドライヤーに比べ、省スペースなため実験室や洗浄機脇などちょっとしたスペースへの追加配置などお手軽に導入頂けます。
乾燥方式は大きく分けて２つ、蓋に取り付けたHEPAを通してクリーンルームのエアーを取り込みエアーフローと遠心力で乾燥させる外気吸引方式、内部に加熱したＮ2を流し込むHOT-N”と遠心力により乾燥させるHot-N2方式の二通りあります。
オプションとして純水リンスや比抵抗計の取り付け、そのほかフットスイッチやシグナルタワーといった作業性や安全面を考慮した付加機能の取り付けを行うことも可能です。
洗浄後に手作業でエアーを吹付けて地道に乾燥されていたユーザー様、環境負荷の大きなIPAを用いた乾燥から見直しされたユーザー様など現行の乾燥方式から見直しをして頂いた事例も多くありますので是非一度ご相談ください。
また、デモ機もございますのでお気軽にお問い合わせください。
詳細はホームページまで http://www.okksg.co.jp/
