プリカット機構内蔵ウエハラミネーターは、通常のロールテープのプリカット加工、高精度貼り付けを行うことができるウエハラミネーターです。装置内にプリカット機構を備え、貼付動作と並行してテープを連続的にカットすることによりプリカット間のテープの残りを削減し、無駄を省きます。

 

廃棄幅『削減』
OKK独自開発のプリカット方式を採用。 通常のロールで取り数が約30%UP。

貼り付け精度0.1㎜!
従来に無い全く新しい貼り付け方式を採用することで、限りなく 高い精度で貼り付けを行う事が可能となりました。

内貼りが可能
後カットでは成し得なかった、ウエハ外周部をむき出しとする貼付けを実現しました。
テープを利用した新たなプロセスの展開が期待出来ます。

ハイバンプテープ対応(MAX340μm)