半導体・電子部品製造装置
ブラックライト仕様
フルオートUV照射機
ブラックライト仕様フルオートUV照射機は、カセットにより供給されたウエハフレームを自動で取り出し、
UV照射・収納する装置です。ダイシング後、ピックアップしやすいようにUVを照射することでテープの粘着力を低下させます。
8inch、12inchのウエハフレームに自動段取り替えにて対応します。
寸法 | W770 × D1090 × H1200(㎜) | |
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重量 | 約 250 kg | |
駆動エア | 0.4~0.5Mpa 65L/min | |
UV照度 | 9mW/cm²以上 | |
N₂ | 0.4~0.5Mpa 100L/min | |
電源 | AC100V 50/60Hz 30A |