半導体・電子部品製造装置
高圧水銀仕様
フルオートUV照射機
FHUV-シリーズ
『コンパクト』で『高出力』の高圧水銀ランプ仕様
概要
高圧水銀／メタルハライド仕様フルオートUV照射装置は、強い放射エネルギーを持つランプを使用した紫外線硬化装置です。
ワーク投入後、スタートボタンを押すとマガジン内からワークを取出し・ＵＶ照射・収納をマガジン内のワークすべての完了までを
全自動で行います。
対象ワークに応じて、高圧水銀ランプ／メタルハライドランプを選択頂けます。
特長
- コンパクトなボディー
- １０通りのレシピ設定が可能（設定により速度可変）
- タッチパネルで４通りの電力が設定可能
- 積算照射量・紫外線照射強度を表示（照射時のみ）
- 照射対象に応じて高圧水銀ランプ / メタルハライドランプの選択可能
- 異サイズへの切り替えを自動で行う自動段取り替え機能搭載
- ダイシングフレームのみならずグリップリングの照射も可能
- UV照射の完了と未完了を判別できる機能付
用途
ＬＳＩウエハ・メモリウエハ・ＬＥＤウエハ・レーザーウエハ・センサーウエハ・パワーデバイスウエハ その他の様々な工程に流用可能。
仕様
 |
| 寸法 | W1300 × D1400 × H1350(㎜) | |
|---|---|---|
| 重量 | 約 400 kg | |
| 駆動エア | 0.4Mpa以上 | |
| UV照度 | 200mW/cm²以上 | |
| N₂ | 0.2Mpa以上 100L/min以上 | |
| 電源 | AC ３相 200V 50/60Hz 100A | |
※寸法等は8inchタイプの仕様です。
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