◆ブラックライト仕様のUV照射装置(紫外線照射機) に
新たなラインナップが加わりました

大宮工業㈱のUV照射機ラインナップに、

卓上型UV照射装置(紫外線照射装置)ハイエンドモデルが加わりました。

・エコノミーモデル

・標準モデル

・ハイエンドモデル (ランプ監視型)NEW!!

の３つをラインナップ！！

・フルオート型も含めUV照射装置をバリエーション豊富に用意しております。

 

 

　     　　　

○特徴

ブラックライトで高出力・高照度を実現！

○スペック


照度：　最大15mW/cm2  実現）※出荷検査合格基準　中央センサー部　9mW/cm2以上

ピーク発光波長：365nm　波長域　315-400nm

○ラインナップ
【エコノミーモデル】は、アナログのタイマーを設置し、紫外線照射量を積算時間で管理出来るタイプです。

照度×時間で決められた工程を組むことでシンプルに紫外線硬化材料の紫外線照射工程を組む事が

出来ます。

 

　　　　　　　　　　　　　　　　
−　エコノミーモデル　−　　　　　　　　　−　タイマー部　−

【標準モデル】は、タッチパネル上の簡単操作で

管理方法 ａ．積算光量、ｂ．積算時間のどちらかを選択出来、

運転モード  c．連続照射モード、d．間欠照射モードを選択することが出来ます。

ランプ管理は個々のランプの累積点灯時間を表示・管理し、ランプの使用時間・交換時期の目安が一目瞭然。

照度管理は中央に配置された照度センサーで行い、照度の下限設定値・もしくはランプ交換設定時間の

どちらか 一方がせまった際に、アラーム音・タッチパネル表示でお知らせしランプ照度の低下による

プロセス不具合を事前に予防することが出来ます。

内蔵照度センサーもお手持ちの校正された照度計に合わせ補正を行うことが出来、パラメーター入力で

センサーとお手持ちの照度計との整合性を合わせることでより照射条件を正確に装置に落とし込むことが来ます。

インターロックとして、サーモスタットを配置し、異常温度になるとお知らせします。

また、蓋の開閉検知を設けており、照射モードにより蓋の開によりランプOFFとなり、不意の紫外線直視を

避ける安全設計となっており、また開閉検知は電磁式の採用により衝突・経年仕様によるスイッチの破損を

考慮しております。

酸素阻害対策として、流量調整可能な不活性ガス(N2窒素)注入口、N2パージ用チャンバーを設置し、

N2をワークに吹きかけるだけのタイプに比べ、N2パージを均一・確実に行うことが出来、

UV硬化阻害（酸素阻害）を防止します。

　   　

【ハイエンドモデル (ランプ監視型) 】　は、ノーマル型では中央に1個配置された照度センサーを、各ランプ下に

それぞれ配し、より高い精度で 各ランプの照度低下・ランプ切れを把握することが出来ます。

これにより突然のランプ照度低下・ランプ切れによるピッキング不良・チッピングを防止することが出来ます。

また個別のランプだけではなくランプを並べた場合に起こりがちな両端から中央のランプ間の照度のムラに

よる硬化のムラ・モレを数値管理し、未然に防止 することが出来ます。

【フルオートモデル(ランプ監視型)】は、ハイグレード仕様のマニュアル機をフルオート化させたモデルであり、

カセットセット以降のワークの搬出・照射・ワーク戻し入れをカセットに投入された枚数分を自動で行います。

具体的なフローとしては、ダイシングフレーム用カセット(フレームマガジン)をセットし、

スタートボタンを押すだけで

①セット内の0-25枚の枚数情報・位置情報を自動で把握し、

②1枚ずつダイシングフレームを照射室まで運び、

③ダイシングテープの糊をUV照射・紫外線硬化を行い、

④硬化が完了したフレームをカセット・マガジンに戻し、

⑤一連の動作を枚数分完了させた後、
⑥完了のアラームを鳴らす、オートタイプのUV照射装置です。

【照射】
ワーク(ウェハ・ダイシングフレーム)を回転させながら行い、ランプ切れを個別に監視することで
照射ムラ・照射不良を未然に防ぎ、均一照射を担保することが出来ます。

【異サイズ兼用・段取り替え】
6″8″兼用、8″12″兼用などその他異サイズとの兼用が可能です。
異サイズへの段取り替えはタッチパネルを押すだけ、後は自動でわずか数秒で行うことが出来ます。

　　　　　　　

同機の採用により、突然のランプ切れを気にすることなく、照射完了まで他の工程に集中する事が出来ます。
ブラックライトのためオゾン対策・高温対策も最小限で済みます。

いずれも糊残り・チッピング不良を防ぐための均一照射を心がけたランプ配置・照射距離を念頭に設計をしております。ダイボンド時のダイシングテープとベアチップの剥離性向上でピックアップの効率を高め、
ピッキング不良を防ぎます。歩留り（チップかけ減少）向上が期待出来ます。

詳しくはホームページの問い合わせよりメール頂くか下記電話番号まで
お問い合わせ下さい。

http://www.okksg.co.jp/inquiry/index.html
岡山事業所　営業部　(0865)-60-0038

OKK Ultraviolet (UV) Curing System. table-top type　-FullyAutomation type

lamps effciently emit near ultraviolet rays at 315nm- 400nm which have strong
photochemical and fluorescent effects．
Ohmiya industry,UV  Curing System is a compact, table-top system used to irradiate UV tapes post-dicing to ease wafer die removal .UV tape for surface protection during back grinding and dicing tape in the process of the wafer processing.
How do you release the tape from the material after dicing?
Please check it out on this site, Low cost Black light UV Curing machine lineup.

http://www.okksg.co.jp/inquiry/index.html