毎年新しい装置を投入し、お客様からの期待に応え続ける大宮工業からまた新たなラインナップが登場します。 

 

製品名
フルオートBGテープラミネーター

装置概要:
表面保護を目的としたバックグラインド用テープテンションコントロールしながら貼付けした後、外周カットが可能な自動装置です。

 

装置外観

対象ワーク
・8inch(200mm)、12inch(300mm)ウエハ
・各種表面保護テープ

SECS/JEM通信対応、IDリーダー、ハイバンプテープ対応、オープンカセット/FOUP/FOSB対応可
貼付けには当社オリジナルの機構を採用しており、テープへのテンションがほとんど無い状態での貼付けを実現。裏面研削後の薄ウエハの反り軽減に期待してください。
デモ、評価の受付を間もなく開始致しますので、是非ご検討お願い致します。