今回は真空マウンタを紹介させて頂きます。
ウエハへのテープ貼り付けはローラーにより押し付けながら貼る方法が一般的ですが、近年のウエハは薄厚化やデバイスの微細化・複雑化によりローラー貼り付けでは難しいケースが出てきております。
・局所的な応力が発生しデバイスにストレス付与
・TAIKOやパターン段差など凹凸追従に限界
・大気でのローラー貼りでは気泡排除に限界
弊社はこれらの課題を解決するために、新たな貼りつけ方法の研究を重ね、ローラーを使用しない低ストレスかつウエハ上の段差追従に優れた独自の貼付方法を開発し、特許取得しました。
既設装置ではデバイス破壊が生じている、段差があり綺麗に貼りつけることが出来ない、そういったお悩みを抱えていませんか？
是非OKKの新たなテープ貼り付けをテストしてください。
装置は手動機、セミオート機、フルオート機までラインナップ。
研究開発や試作といった少量対応から量産対応まで幅広く提案させて頂きます。
詳細はホームページで ここをクリック
