大宮工業の精密洗浄では、スパッタ・ＣＶＤ・エッチング装置などの内部治具部品や、セラミック、石英製品などの
精密洗浄をホームページからも紹介しておりますが、今回は『ウエハ洗浄』 ダミーウエハ上に成膜された
薄膜の除去を目的にしたウエハ再生、薄膜除去洗浄を紹介いたします。
膜厚測定用に成膜されたダミーウエハの再生洗浄で、数種の膜種（Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＳｉＮ）をケミカル処理にて
エッチング再生いたします。
残留膜質についての検査（表面ＥＤＸ評価）、ウエハのエッチングについても検査（反射率）を実施し新品ウエハと
同等な評価値であることから、客先より評価いただきウエハの再生洗浄を行っております。
上記の他にも様々な膜種について検証・評価いたします。
また、シリコンウエハの再生だけでなく、アルミナ基板、石英基板ほかにも検討させていただきますので
お気軽にご相談ください。
詳しいお問合せは『大宮工業 株式会社 営業部』まで！！
ＴＥＬ：0865-60-0038 URL：http://www.okksg.co.jp/
