月別アーカイブ: 2010年2月
精密洗浄『ウエハ再生』 のご紹介
大宮工業の精密洗浄では、スパッタ・CVD・エッチング装置などの内部治具部品や、セラミック、石英製品などの 精密洗浄をホームページからも紹介しておりますが、今回は『ウエハ洗浄』 ダミーウエハ上に成膜された 薄膜の除去を目 …
大宮工業の精密洗浄では、スパッタ・CVD・エッチング装置などの内部治具部品や、セラミック、石英製品などの 精密洗浄をホームページからも紹介しておりますが、今回は『ウエハ洗浄』 ダミーウエハ上に成膜された 薄膜の除去を目 …