母材材質、堆積膜の物質をもとに最適な洗浄方法(化学的・物理的)を調査検討し、洗浄工程を確定いたします。
ブラスト・溶射など、治具・防着板等に表面処理を行なう事でチャンバー内部に堆積する物質の密着性を向上させ、堆積物・剥離によるパーティクルの発生を抑えます。
後洗浄処理はクリーンルーム内(クラス1000)での一貫作業で、治具・防着板等の梱包はクリーンブース内(クラス100)で行なっています。
治具・防着板などの大型化に伴い、大型ワーク洗浄設備も完備しております。
真空装置部品の精密洗浄だけでなく、精密加工部品の脱脂洗浄・排気配管等の洗浄、配管・サイレンサー・
トラップなど生成物の除去も承ります。
精密加工(切削・溶接他)後、酸・有機溶剤等を使用した脱脂処理、純水(供給元16MΩ以上)で超音波洗浄を行います。
ご要望によりワークの脱気・二重梱包も承ります。