回転による遠心力と吸引される気流の作用により
ウエハ上の水滴及び水分を乾燥させる装置です。
キャリアからキャリアまたはキャリアから
ボートへウエハを双方向に移載する装置です。
ウエハキャリアおよびキャリアボックスの
洗浄乾燥装置です。
ラミネーターとマウンターの二つの
機能を持つテープ貼付装置です。
表面保護を目的としたバックグラインド用
テープを貼付ける自動装置です。

ウエハや基板上に張り付けたBGテープなどの保護フィルムを、剥離テープを使って剥がす装置です。
UV硬化型のテープ/フィルムにUVを照射し
硬化させる装置です。

グリップリングのはめ込み、テープカットを
ワンタッチで行うウエハ拡張装置です。

手軽に回転設備・研削盤の動バランスを精密測定し、バランス修正が行えるフィールドバランサーです。

様々な研削盤や回転装置に取り付けることで、自動で動バランス修正が行えます。I/O制御により完全自動も行えます。

独自のノウハウを駆使し、お客様の要望に合わせたカスタム設計対応のバランス修正機です。

ワークを測定機にセットするだけ!回転させずにアンバランスの重量と位置が検出できます。

NCや汎用の工作機械における微細なタッチ検出をを実現。エアーカット時間の短縮に貢献します
大越式測定を用いてJIS規格に定められている砥石規格を測定。ワークを置くだけで測定可能です。

専門スタッフが現地でのフィールドバランシング作業やお預りしたワークのバランス修正請負作業を致します。