半導体・電子部品製造装置
ウエハ移載機
OTD-シリーズ
やさしく！正確に！スピーディーに！
ウエハ移載機に求められる３つの要素を実現しました。
ウエハ移載機に求められる３つの要素を実現しました。
再生時間：1分30秒
概要
ウエハ移載機は、キャリアからキャリアまたはキャリアからボートへウエハを双方向に移載する自動機です。
face to face移載、back to
back移載にも対応しています。
特長
パーティクル発生予防
モーター駆動によりパーティクルの発生を予防。
独自のウエハチャック構造
当社独自のウエハチャック構造がウエハ搬送中の揺れを抑え、石英ボートへの移載搬送も確実で、化合物ウエハのような重量物でも正確かつ安全に移載します。
各種オプション
・静電気除去装置（イオナイザー） ・全面カバー ・エリアセンサー
全面カバー・エリアセンサー付移載機
安全は優先順位第1位！小さな投資で大きな安心！！
前面以外の4面（右・左・上・背面）に透明カバーを取り付けました。
作業スペース前面にはエリアセンサーを取り付け、動作中に誤ってキャリア・ボートを
取り出そうとしても非常停止します。これで安全対策は万全です。
仕様
| 型式 |
OTS-15
 (自立型) |
OTD-25
 (卓上型) |
OTD-35
 (卓上型) |
|---|---|---|---|
| ステ-ジ数 |
Ⅰステージ （カセット×1） |
Ⅱステージ （カセット×1 、ボート×1） |
Ⅲステージ （カセット×2 、ボート×1） |
| 駆動方式 | モーター駆動（サーボ) | ||
| 移載形式 | 1ca 異種カセット間移載 | 1ca to 1bt 双方向移載 | 2ca to 1bt 双方向移載 |
| 移載 スピ-ド |
Min40秒 ＋ カセット交換時間 |
Min50秒（調整可） | Min90秒（調整可） |
| 装置寸法 | W400×D510×H1187(㎜) | W433×D490×H625(㎜) | W629×D490×H625(㎜) |
| 安全機構 | カセット有無、ウエハ有無、過負荷検知、異常警報、非常停止 | ||
| 電源 | AC200V（50/60Hz） | ||
関連機器
- キャリアtoキャリア移載機・・・・・・・・・・同じ種類のキャリアへ移載
- ターンオーバー（face to face）移載機・・・・パターン面を向かい合わせ
- 搬送用キャリアtoライン用キャリア移載機・・・異なる種類のキャリア間の移載
- ピッチ変換移載・・・・・・・・・・・・・・・ハーフピッチ・倍ピッチ対応可能
オプション
- ・自動ウエハカウンター
- ・エリアセンサー
- ・各種カバー
- ・アライナー（オリフラ合わせ）
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