半導体・電子部品製造装置

ウエハ移載機

ウエハ移載機

OTD-シリーズ
やさしく!正確に!スピーディーに!
ウエハ移載機に求められる3つの要素を実現しました。
ウエハ移載機
IIIステージ用タッチパネル IIステージ回転
再生時間:2分36秒

概要

ウエハ移載機は、キャリアからキャリアまたはキャリアからボートへウエハを双方向に移載する自動機です。
face to face移載、back to back移載にも対応しています。

特長

パーティクル発生予防

モーター駆動によりパーティクルの発生を予防。

独自のウエハチャック構造

当社独自のウエハチャック構造がウエハ搬送中の揺れを抑え、石英ボートへの移載搬送も確実で、化合物ウエハのような重量物でも正確かつ安全に移載します。

独自のウエハチャック構造

各種オプション

・静電気除去装置(イオナイザー)  ・全面カバー  ・エリアセンサー

全面カバー・エリアセンサー付移載機

安全は優先順位第1位!小さな投資で大きな安心!!

前面以外の4面(右・左・上・背面)に透明カバーを取り付けました。
作業スペース前面にはエリアセンサーを取り付け、動作中に誤ってキャリア・ボートを
取り出そうとしても非常停止します。これで安全対策は万全です。

仕様

型式
OTS-15
OTS-15
(自立型)
OTD-25
OTD-25
(卓上型)
OTD-35
OTD-35
(卓上型)
ステ-ジ数 Ⅰステージ
(カセット×1)
Ⅱステージ
(カセット×1 、ボート×1)
Ⅲステージ
(カセット×2 、ボート×1)
駆動方式 モーター駆動(サーボ)
移載形式 1ca 異種カセット間移載 1ca to 1bt 双方向移載 2ca to 1bt 双方向移載
移載
スピ-ド
Min40秒

カセット交換時間
Min50秒(調整可) Min90秒(調整可)
装置寸法 W400×D510×H1187(㎜) W433×D490×H625(㎜) W629×D490×H625(㎜)
安全機構 カセット有無、ウエハ有無、過負荷検知、異常警報、非常停止
電源 AC200V(50/60Hz)

関連機器

  • キャリアtoキャリア移載機・・・・・・・・・・同じ種類のキャリアへ移載
  • ターンオーバー(face to face)移載機・・・・パターン面を向かい合わせ
  • 搬送用キャリアtoライン用キャリア移載機・・・異なる種類のキャリア間の移載
  • ピッチ変換移載・・・・・・・・・・・・・・・ハーフピッチ・倍ピッチ対応可能

オプション

  • ・自動ウエハカウンター
  • ・エリアセンサー
  • ・各種カバー
  • ・アライナー(オリフラ合わせ)

CONTACT

お問い合わせ
製品・点検校正等に関するお問い合わせ
0865-60-0038
装置周辺機器のオーバーホール
に関するお問い合わせ
0743-62-2600
月~金 9:00~12:00,13:00~17:30(祝日・当社休日を除く)
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