半導体・電子部品製造装置
ウエハ移載機
ウエハ移載機は、キャリアからキャリアまたはキャリアからボートへウエハを双方向に移載する自動機です。
face to face移載、back to
back移載にも対応しています。
モーター駆動によりパーティクルの発生を予防。
当社独自のウエハチャック構造がウエハ搬送中の揺れを抑え、石英ボートへの移載搬送も確実で、化合物ウエハのような重量物でも正確かつ安全に移載します。
・静電気除去装置(イオナイザー) ・全面カバー ・エリアセンサー
安全は優先順位第1位!小さな投資で大きな安心!!
前面以外の4面(右・左・上・背面)に透明カバーを取り付けました。
作業スペース前面にはエリアセンサーを取り付け、動作中に誤ってキャリア・ボートを
取り出そうとしても非常停止します。これで安全対策は万全です。
型式 |
OTS-15
(自立型) |
OTD-25
(卓上型) |
OTD-35
(卓上型) |
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ステ-ジ数 |
Ⅰステージ (カセット×1) |
Ⅱステージ (カセット×1 、ボート×1) |
Ⅲステージ (カセット×2 、ボート×1) |
駆動方式 | モーター駆動(サーボ) | ||
移載形式 | 1ca 異種カセット間移載 | 1ca to 1bt 双方向移載 | 2ca to 1bt 双方向移載 |
移載 スピ-ド |
Min40秒 + カセット交換時間 |
Min50秒(調整可) | Min90秒(調整可) |
装置寸法 | W400×D510×H1187(㎜) | W433×D490×H625(㎜) | W629×D490×H625(㎜) |
安全機構 | カセット有無、ウエハ有無、過負荷検知、異常警報、非常停止 | ||
電源 | AC200V(50/60Hz) |