メカ、ソフト、制御、ケミカルの技術融合が生み出すものは、クオリティーの高い製品群だけではありません。
自社設計・製作の洗浄装置を使用した精密洗浄もその高い凡用性とコストパフォーマンスでお客様のご要望にお応えいたします。
半導体・FPD装置などの成膜装置部品に付着する堆積膜を化学・物理処理にて除去・再生する精密洗浄です。
成膜装置部品に付着する堆積膜の除去・再生を目的にした精密洗浄だけでなく、精密加工品の脱脂洗浄、樹脂系塗材等の剥離洗浄、排気配管に付着する生成物の除去……さまざまな精密洗浄をご提案します。
当社独自で設計、製作した設備(洗浄槽・超音波槽・クリーンオーブン)で様々な大型・異形状のワークに対応。
■建物面積
990㎡
■内クリーンルーム
190㎡
■ブラスト棟
580㎡ 内ブラスト室 50㎡
■洗浄棟
620㎡ 内クリーンルーム 167㎡
ウエハ洗浄後の乾燥機、ウエハや基板の個片化を行うダイシング周辺装置をラインアップ
ポータブルバランサー My-self1をはじめ当社独自のバランステクノロジー製品を紹介します
モバイル・FA機器基板の修理・故障解析や、LCD・OLEDのリファービッシュを行います
堆積膜の除去・再生を行う精密洗浄を中心に脱脂洗浄や塗材等の剥離など多様な『洗浄事業』を展開