精密洗浄事業

事業紹介

メカ、ソフト、制御、ケミカルの技術融合が生み出すものは、クオリティーの高い製品群だけではありません。
自社設計・製作の洗浄装置を使用した精密洗浄もその高い凡用性とコストパフォーマンスでお客様のご要望にお応えいたします。

半導体・FPD装置などの成膜装置部品に付着する堆積膜を化学・物理処理にて除去・再生する精密洗浄です。
成膜装置部品に付着する堆積膜の除去・再生を目的にした精密洗浄だけでなく、精密加工品の脱脂洗浄、樹脂系塗材等の剥離洗浄、排気配管に付着する生成物の除去……さまざまな精密洗浄をご提案します。

洗浄設備

洗浄設備

当社独自で設計、製作した設備(洗浄槽・超音波槽・クリーンオーブン)で様々な大型・異形状のワークに対応。

第二工場

第二工場

■建物面積
 990㎡
■内クリーンルーム
 190㎡

第三工場 (大型ワーク洗浄工場)

フランジ側取り付け例

■ブラスト棟
 580㎡ 内ブラスト室 50㎡

■洗浄棟
  620㎡ 内クリーンルーム 167㎡

CONTACT

お問い合わせ
製品・点検校正等に関するお問い合わせ
0865-60-0038
装置周辺機器のオーバーホール
に関するお問い合わせ
0743-62-2600
月~金 9:00~12:00,13:00~17:30(祝日・当社休日を除く)
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