洗浄事例
あらゆる汚れに対応した洗浄と表面加工をご提供いたします。
半導体・液晶関連製造装置の洗浄及び表面加工、その他サービス
- ・ＰＤＶ装置・ＣＶＤ装置・DRY-ETCH装置・レジストコーターカップ・ダミーウエハの再生洗浄・
薄板のブラスト処理 - ・シリコン接着剤の除去洗浄・加工部品の脱脂洗浄・冷却水ライン
- ・排気ライン等の配管洗浄（現地での出張洗浄も承ります）
- ・樹脂製造工程における樹脂膜の除去（ドライアイスブラストによる出張洗浄も承ります）
- ・Diタンク樹脂再生
※ ご要望に応じて溶射、アルマイト加工、バフ研磨、電解研磨、テフロンコーテング等を施します
※ 各種部品加工や改造も承ります
スパッタ部品
洗浄・ブラスト・溶射後の薬液除去、コンタミ除去を目的に圧水・純水超音波（16MΩ）洗浄を行います。
お客様のご要望にお応えして、洗浄対象物（パーツ）の分解・組立もいたします。
シリコン接着剤
ダミーウエハ
ダイシングフレーム
テープ痕、粘着剤残りを
溶剤浸漬・拭き取り、洗浄・梱包
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