半導体・電子部品製造装置
公転式スピンドライヤー
OKH-シリーズ
安全！クリーン！速い!
三拍子そろったスーパードライヤー！！
三拍子そろったスーパードライヤー！！
概要
フルオート、セミオート、マニュアルの3タイプ
当社の公転式スピンドライヤーは多彩なラインアップが魅力のスタンドアローンタイプのウエハ遠心乾燥装置です。
フルオートバランサー(FAB)、各種ヒーター、チャンバーリンスなどオプションも多彩。
さらに当社のバランステクノロジーを活用することで、例えば6inchと8inchのカセット各1個掛けはもとより３"４"５"６"の
各2個掛け、３"４"８"×2個掛けといったお客様の生産品目に合わせた多彩なサイズのカ
セットの乾燥を行うことが出来ます。
さらにフルオートバランサーを搭載することで、ダミーウエハを投入することなく0～25枚差でも投入することが可能です。
- 気流の流れをさらに効率化し、ダウンフローによる乾燥性を上げました。その結果乾燥時間がさらに短縮されました。
- 発塵要因を徹底的に排除しました。 パーティクル評価実績 をご覧下さい。
- ボディの設計コンセプトは、『振動しないスピンドライヤー』。 独自の振動解析技術によって裏付けられた高品質の回転性能を提供します。
- 独自開発の自動振動抑制機構（自動バランサーFAB）やウエハ割れ自動検知機構などのオプションを採用することにより、さらに便利にご利用いただけます。
- シリコン以外の材質や基板等の各種実績がございます。ご相談ください。
オプション
自動バランス調整装置
永年にわたり培われてきた振動解析技術により開発したスピンドライヤー用の自動バランシング装置をスピンドライヤーの回転部に装着することで、ウエハの枚数を不均衝にセットし回転させても振動が自動で抑制される画期的なオプション装置です。
特に、ウエハの品種違いよる重量差のあるものや、常に投入枚数に変動があるなどの状況では、その効果は抜群です。
多くの重量差や枚数差はないが振動を除去したい場合や、異なるインチサイズのウエハ使用により振動が発生するような状況にオススメします。
ULPA.イオナイザー付スライド式開閉蓋 【ハイスループット】
蓋がスライド式の為、ロボットが装置の上を自由に移動でき、 蓋の開閉時間の短縮も含め大幅な時間短縮を実現しました。
・蓋の開閉時間を短縮
・ロボットの移動スペースに制約が少ない
・開口部の真上で待機でき、蓋開と同時にウエハ投入が可能
再生時間：2分58秒
ヒーター ハイスループット
乾燥効率を極限まで追求
吸気口上部にヒーターを配置し、チャンバー内部に温かい空気を取り込むことによって乾燥効率がさらにＵＰします。
パーティクル評価実績
東北大学Ｏ研究室でのパーティクル評価実績は、0.16μ以上で5個以下という好評価をいただきました。
評価対象機は一部を除き標準仕様です。
お客様にはことのほかご満足いただきました。
東北大学 Ｏ研究室評価表
実験内容
1.ベアウエハ準備。パーティクルカウンターでイニシャル値測定。
2.DRY処理実施。（1,000min-¹ 480sec）
3.パーティクルカウンターでアフター値測定。
4.センター、及びパーティクル付着アドレスをTRXRF測定。
| パーティクルカウンター | KLA-Tenco社製SFS6420 | |
|---|---|---|
| 対象ウエハ | 8inchシリコンウエハ（SLOT 1，4，7） | |
| スピンドライヤー | OKH-800シリーズ 7枚ウエハカセット仕様 公転式 1カセット仕様 簡易型バランサー搭載 軸周りの構造は標準 |
|
実験結果
| （µｍ） | SLOT 1 | SLOT 4 | SLOT 7 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Ini. | Aft. | Diff. | Ini. | Aft. | Diff. | Ini. | Aft. | Diff. | |
| 0.160～0.200 | 0 | 1 | 1 | 0 | 3 | 3 | 1 | 2 | 1 |
| 0.200～0.300 | 1 | 0 | -1 | 2 | 3 | 1 | 0 | 0 | 0 |
| 0.300～0.400 | 0 | 1 | 1 | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | 0 |
| 0.400～0.500 | 0 | 1 | 1 | 0 | 1 | 1 | 0 | 0 | 0 |
| 0.500～0.700 | 0 | 1 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 |
| 0.700～0.900 | 0 | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | 0 | 0 | 0 |
| 0.900～1.20 | 0 | 0 | 0 | 1 | 0 | -1 | 0 | 0 | 0 |
| A/C | 1 | 0 | -1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 |
| TOTAL | 2 | 4 | 2 | 3 | 8 | 5 | 2 | 5 | 3 |
Ini：投入前数値 Alt：投入後数値 Diff：差引き数値
仕様
| 機 種 |
オート
 |
セミオート / マニュアル
 |
||
|---|---|---|---|---|
| 回 転 数 |
2～6インチ | Max 1,000min-¹ | ||
| ８インチ | ||||
| １２インチ | Max 700min-¹ | |||
| 装 置 寸 法 |
2～6インチ | 750×1350×1100 (mm) | 750×1430×1100 (mm) | |
| ８インチ | 850×1450×1150 (mm) | 850×1530×1150 (mm) | ||
| １２インチ | 1050×1700×1170 (mm) | 1050×1780×1170 (mm) | ||
| 名称 | 公転式ダウンフロー型スピンドライヤー | |
|---|---|---|
| 対象ワーク | 2～12inch | |
| 電源 | AC200V （50/60Hz) | |
| クレードル | ２個または４個搭載可能 | |
| 速度設定 | １速、２速 | |
| 材質 | ターンテーブル、クレードル 共にSUS316L（EP) | |
| 外装 | PVC | |
| 安全機構 | 異常振動自動停止 過負荷運転防止 | |
| 立上り時間 | 12in…30秒以内 / 8in以下…25秒以内 | |
