半導体・電子部品製造装置

スピンドライヤー

スピンドライヤー概要

スピンドライヤーとは、回転による遠心力と吸引される気流の作用によりウエハ上の水滴及び水分を乾燥させる装置です。当社のバランシング技術とワークの乾燥効率を最も高めた気流制御により、繊細なワークもクリーンに安全に乾燥させる事ができます。

当社のスピンドライヤーは、設計から制御を含む製造まで一貫生産方式、クリーンルームを持つ、メーカーならではの品質管理体制を整えております。
自動バランサーに代表される豊富なオプションとカスタマイズに対応いたします。

公転式

OKH-シリーズ

多彩なラインアップが魅力の
スタンドアローンタイプの
スピンドライヤー(ウエハ
遠心乾燥装置)です。

対応ワークサイズ	2～12 inch
装置外寸	6inchタイプ：W 750 × D1450 × H1150(1730)(㎜) 8inchタイプ：W 850 × D1530 × H1150(1830)(㎜) 12inchタイプ：W1050 × D1780 × H1165(2030)(㎜)
装置重量	6inchタイプ：約 550 ㎏ 8inchタイプ：約 600 ㎏ 12inchタイプ：約 800 ㎏
タイプ	公転式ダウンフロー型

自転式

OKV-シリーズ

少量生産～研究開発にピッタリな卓上型のスピンドライヤー
(ウエハ遠心乾燥装置)です。

対応ワークサイズ	6inchタイプ：2～6 inch 8inchタイプ：2～8 inch
装置外寸	6inchタイプ：W430 × D839 × H1600(㎜) ※架台込 8inchタイプ：W513 × D903 × H1585(㎜) ※架台込
装置重量	6inchタイプ：約 160 ㎏ 8inchタイプ：約 180 ㎏
タイプ	自転式