半導体・電子部品製造装置

スピンドライヤー

自転式1カセットスピンドライヤー

OKV-シリーズ
環境エアー吸気方式でN₂不要!
ランニングコストの削減と除電効果の向上を実現
※N₂置換方式もあります
自転式スピンドライヤー
ULPAフィルター 操作パネル

概要

自転式シングルカセットスピンドライヤーは、少量生産~研究開発にピッタリな卓上型のスピンドライヤーです。
卓上型にも関わらず2inch~8inchまで対応し、さらにオプションのワンタッチアタッチメントを取り付けることで誰でも簡単に異サイズカセットの乾燥を行うことも可能です。
その他、チャンバーリンス機能、比抵抗計取り付けなど多彩なオプションを取り揃えております。
従来のN₂置換方式とは異なり、前面扉より環境エアーを取り込む遠心力+吸気乾燥方式を採用しました。

カスタム例

フットスイッチ

8inch t=2mmのウエハ用に作成。 ワークが重量物で、両手が塞がっていてもドアの開閉が可能。

フットスイッチ
再生時間:1分48秒

異サイズ兼用アタッチメント

面倒なローター交換が不要! 専用アタッチメントの挿入のみで異サイズのワークに対応。

2段式シングルスピンドライヤー

2段式

2段式シングルスピンドライヤー

省スペースに対応した2段式シングルスピンドライヤー

その他

角基板

角基板への対応実績もございます。その他特殊ワークの乾燥についてもご相談承ります。

仕様

機  種
6inchタイプ

アイボリーも選べます
8inchタイプ

ブラックも選べます
対応ウエハサイズ 2~6inch 2~8inch
装置寸法 W423×D839×H780 (mm) W513×D903×H880 (mm)
本体外装 正面・側面:SUS304 背面:PVC
ローター材質 SUS304 電解研磨処理
軸シール オイルシールと強制吸引の併用
イオナイザー 標準装備
エアフィルター ULPA / HEPA 選択可
回転数 Max回転数:3,000min-¹ Max回転数:2,500min-¹
モーター 三相誘導電動機・ビルトイン・カゴ型
タイマー 1速~8速 (0~999sec. 8段階設定可)
安全機構 前面蓋閉センサ付 ロータ回転中扉ロック機構付
電源 三相 AC200V±10% 50/60Hz(端子台)
駆動エアー クリーンドライエアー
圧力:0.5MPa以上
空気消費量:250L/min(ANR)
排気口 VP50A 1箇所(チャンバーより)
(排気量 800L/min∼1000L/min)
排水口 VP25A 1箇所(チャンバーより)

※環境エアー方式の仕様です。N₂置換方式の仕様詳細はお問い合わせください。

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