半導体・電子部品製造装置
自転式1カセットスピンドライヤー

自転式シングルカセットスピンドライヤーは、少量生産~研究開発にピッタリな卓上型のスピンドライヤーです。
卓上型にも関わらず2inch~8inchまで対応し、さらにオプションのワンタッチアタッチメントを取り付けることで誰でも簡単に異サイズカセットの乾燥を行うことも可能です。
その他、チャンバーリンス機能、比抵抗計取り付けなど多彩なオプションを取り揃えております。
従来のN₂置換方式とは異なり、前面扉より環境エアーを取り込む遠心力+吸気乾燥方式を採用しました。
8inch t=2mmのウエハ用に作成。 ワークが重量物で、両手が塞がっていてもドアの開閉が可能。

面倒なローター交換が不要! 専用アタッチメントの挿入のみで異サイズのワークに対応。


省スペースに対応した2段式シングルスピンドライヤー

角基板への対応実績もございます。その他特殊ワークの乾燥についてもご相談承ります。
| 機 種 |
6inchタイプ
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8inchタイプ
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|---|---|---|
| 対応ウエハサイズ | 2~6inch | 2~8inch |
| 装置寸法 | W423×D839×H780 (mm) | W513×D903×H880 (mm) |
| 本体外装 | 正面・側面:SUS304 背面:PVC | |
| ローター材質 | SUS316L 電解研磨処理 | |
| イオナイザー | 標準装備 | |
| エアフィルター | ULPA | |
| 回転数 | Max回転数:3,000min-¹ | Max回転数:2,500min-¹ |
| タイマー | 1速~8速 (0~999sec. 8段階設定可) | |
| 安全機構 | 前面蓋閉センサ付 ロータ回転中扉ロック機構付 | |
| 電源 | 三相 AC200V±10% 50/60Hz(端子台) | |
|---|---|---|
| 駆動エアー | クリーンドライエアー | |
| 圧力:0.5MPa以上 | ||
| 空気消費量:250L/min(ANR) | ||
| 排気口 | VP50A 1箇所(チャンバーより) | |
| (排気量 800L/min∼1000L/min) | ||
| 排水口 | VP25A 1箇所(チャンバーより) | |
※環境エアー方式の仕様です。N₂置換方式の仕様詳細はお問い合わせください。