半導体・電子部品製造装置
ブラックライト仕様
フルオートUV照射機
FBUV-シリーズ
異サイズワークも一発段取り替え
ターンテーブル採用で均一照射！
ターンテーブル採用で均一照射！
再生時間：1分20秒
概要
ブラックライト仕様フルオートＵＶ照射機は、カセットにより供給されたウエハフレームを自動で取り出し、
ＵＶ照射・収納する装置です。ダイシング後、ピックアップしやすいようにUVを照射することでテープの粘着力を低下させます。
８inch、１２inchのウエハフレームに自動段取り替えにて対応します。
特長
- カセット単位での全自動照射が可能です。
- 回転式ターンテーブルでムラ無く均一なUV照射が可能です。
- 多彩なUV照射条件（時間設定 or 積算光量設定）
- タッチパネル上でUV照度をリアルタイムで表示します。
- ブラックライト仕様により低消費電力化。
- 8inch/12inchカセットに対応。（タッチパネル上より段取り替えが自動で行えます）
仕様
 |
| 寸法 | W770 × D1090 × H1200(㎜) | |
|---|---|---|
| 重量 | 約 250 kg | |
| 駆動エア | 0.4～0.5Mpa 65L/min | |
| UV照度 | 9mW/cm²以上 | |
| N₂ | 0.4～0.5Mpa 100L/min | |
| 電源 | AC100V 50/60Hz 30A | |
- ■インターロック
- 装置本体のワーク投入口のカバー・メンテナンス扉にインターロックを装備、 作動中に扉が開かれた場合は動作を停止させます。
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