半導体・電子部品製造装置

UV照射機

ブラックライト仕様
フルオートUV照射機

FBUV-シリーズ
異サイズワークも一発段取り替え
ターンテーブル採用で均一照射!
タッチパネル操作で自動段取替え タッチパネル

概要

ブラックライト仕様フルオートUV照射機は、カセットにより供給されたウエハフレームを自動で取り出し、
UV照射・収納する装置です。ダイシング後、ピックアップしやすいようにUVを照射することでテープの粘着力を低下させます。
8inch、12inchのウエハフレームに自動段取り替えにて対応します。

特長

  • カセット単位での全自動照射が可能です。
  • 回転式ターンテーブルでムラ無く均一なUV照射が可能です。
  • 多彩なUV照射条件(時間設定 or 積算光量設定)
  • タッチパネル上でUV照度をリアルタイムで表示します。
  • ブラックライト仕様により低消費電力化。
  • 8inch/12inchカセットに対応。(タッチパネル上より段取り替えが自動で行えます)
loader uv

仕様

寸法 W770 × D1090 × H1200(㎜)
重量 約 250 kg
駆動エア 0.4~0.5Mpa 65L/min
UV照度 9mW/cm²以上
N₂ 0.4~0.5Mpa 100L/min
電源 AC100V 50/60Hz 30A

 

■インターロック
装置本体のワーク投入口のカバー・メンテナンス扉にインターロックを装備、 作動中に扉が開かれた場合は動作を停止させます。

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