UV照射機

36W仕様のブラックライトの採用で、ローコストながらも高照度（10mW/cm2以上）を実現。
照度の均一性もUPしました。（当社従来比）

照射設定は、積算光量or照射時間を任意設定可能。タッチパネルでらくらく設定。
レシピは8種類から選択できます。

N₂パージ機能により、酸素阻害による硬化不良を防ぎます。

照度と温度をリアルタイムで監視。異常時にはアラームでお知らせします。

開閉方式の為、使用性はもちろん、ランプ切れ確認・ランプ交換などのメンテナンス性にも優れております。

テーブルトップタイプのコンパクト設計ながらも、2～12インチまで幅広いワークサイズに対応。
ワークとしては最大Ｗ410mm×Ｄ360mmの大きさのワークを載せることが出来ます。

タッチパネルは日本語・英語・中国語の3種類から選択可能です。

ブラックライト採用によりオゾン発生の無いECO仕様。
作業時に蓋が開くと自動消灯する安全機能付き。

オプションのマスクを使用することで不要な部分への紫外線照射を防ぎ、ウエハ／チップ部分のみに照射する
ことが出来ます。 また、マスクはワンタッチで簡単に取り替えることが出来、簡単に異サイズワークへ切り替
えることが可能です。