半導体・電子部品製造装置

UV照射機

ブラックライト仕様
マニュアルUV照射機

UVI-MA-シリーズ
ハイパワー、ローコスト。
テーブルトップタイプのコンパクト設計ながら
幅広いワークサイズに対応。
6inマスキングテーブル(オプション) ランプ13本仕様(受注生産)

概要

ブラックライト仕様マニュアルUV照射機は、UV硬化型のテープ糊、接着剤などを硬化させる卓上型の紫外線照射装置です。

UVI-1201MB7
各ランプ下に照度センサーを配置したランプ照度監視強化型。
ランプ照度低下や不意のランプ切れを一早く発見し、照射不足によるロスを防ぎます。

用途

標準採用の365nm波長のランプは半導体ウエハ製造工程におけるバックグラインド時のウエハ保護フィルムの剥離、
ダイシング後のダイのピックアップなどUV硬化樹脂材の硬化に優れ、研究開発から生産現場までさまざまな用途で
多数採用頂いております。

基本操作

上部カバーを開けワークをセットし、スイッチ操作によりUV照射を行います。
照射条件は正面のタッチパネルから簡単入力。
設定された積算照射量(または積算時間)になるとランプは消灯、ブザーの発報によりお知らせします。

特長

ハイパワー、ローコスト

36W仕様のブラックライトの採用で、ローコストながらも高照度(10mW/cm2以上)を実現。
照度の均一性もUPしました。(当社従来比)

選べる照射パターン

照射設定は、積算光量or照射時間を任意設定可能。タッチパネルでらくらく設定。
レシピは8種類から選択できます。

N₂パージ機能

N₂パージ機能により、酸素阻害による硬化不良を防ぎます。

監視機能付き

照度と温度をリアルタイムで監視。異常時にはアラームでお知らせします。

優れたメンテナンス性

開閉方式の為、使用性はもちろん、ランプ切れ確認・ランプ交換などのメンテナンス性にも優れております。

コンパクトデザイン

テーブルトップタイプのコンパクト設計ながらも、2~12インチまで幅広いワークサイズに対応。
ワークとしては最大W410mm×D360mmの大きさのワークを載せることが出来ます。

多言語対応

タッチパネルは日本語・英語・中国語の3種類から選択可能です。

安心設計

ブラックライト採用によりオゾン発生の無いECO仕様。
作業時に蓋が開くと自動消灯する安全機能付き。

照射マスク(オプション)

オプションのマスクを使用することで不要な部分への紫外線照射を防ぎ、ウエハ/チップ部分のみに照射する
ことが出来ます。 また、マスクはワンタッチで簡単に取り替えることが出来、簡単に異サイズワークへ切り替
えることが可能です。

説明図

仕様

寸法 W520 × D550 × H200(㎜)
外装 SUS304
重量 約 30 kg
照射エリア W410 × D360(㎜)
対象ワーク 6inch ダイシングフレーム×2個
8inch ダイシングフレーム×1個
12inch ダイシングフレーム×1個
  (※12inch全体には照射できません)
UVランプ ブラックライトブルーランプ 36W×7本 (型式:FPL36BLB-OKK)
UV照度 9mW/cm2以上
N₂ 0.4~0.5Mpa 100L/min
電源 AC100V 50/60Hz 10A

※交換用ランプは7本単位で販売しております。 型式:FPL36BLB-OKK
※ダイシングフレーム部をUV照射しないようにマスキングするには、別途マスキングのテーブルが必要となります。

 

ブラックライト仕様マニュアルUV照射機 安全性・センサ類

■UVセンサ
照度を計測するため、テーブル中心部のランプ下部にUVパワーモニタを設置。

■温度センサ
UV照射室の温度が上昇しすぎないようにサーモスタットを設置。
UV照射室温度が60℃を超えた場合はランプを消灯しアラームを鳴らし一時停止します。
60℃以下になった後、タッチパネルのリセットスイッチでアラームを解除しリスタートにより残りの照射時間を照射します。

■蓋閉確認センサ
間欠照射時に蓋を開けた場合にランプが消灯するように近接センサを設置。
運転中に扉が開いた場合は、一時停止処理となります。

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