半導体・電子部品製造装置

ウエハエキスパンダー

ウエハエキスパンダー概要

ウエハエキスパンダーはエキスパンド、グリップリングのはめ込み、テープカットをワンタッチで行うウエハ拡張装置です。
高停止精度モーター、オートカット機能、ハイストローク機能を標準搭載しており、開発・試作・量産までをこの一台で対応する事が可能です。
開発用には更に条件を振れるよう、『高速エキスパンド』(オプション)もご用意しております。

ウエハエキスパンダー

  • セミオートタイプ
    OEX-SA-シリーズ

    エキスパンド、グリップリングのはめ込み、テープカットをワンタッチで行う卓上タイプのエキスパンド装置です。

    対応ワークサイズ 8inch / 12inch
    対応フレーム  8inchタイプ: ~  8inchダイシングフレーム
    12inchタイプ: ~ 12inchダイシングフレーム
    装置外寸  8inchタイプ:W480 × D600 × H564(㎜)
    12inchタイプ:W600 × D720 × H648(㎜)
    装置重量  8inchタイプ:約 60 kg
    12inchタイプ:約 80 kg
    タイプ セミオート
  • フェイスダウンタイプ
    OEX-FD-シリーズ

    フェイスダウン拡張とステージ下部からの強制吸引により、割断時に発生するSiパーティクルの付着を限りなく抑制します。

    対応ワークサイズ ~8inch
    対応フレーム 6~8inchダイシングフレーム
    装置外寸 W700 × D1250 × H1470(㎜)
    装置重量 約 250 Kg
    タイプ フェイスダウン
  • フルオートタイプ
    OEX-FA-シリーズ

    ダイシング後のダイシングテープの引き延ばしをおこなう装置です。

    対応ワークサイズ 8inchダイシングフレーム / グリップリング
    対応フレーム 8inchダイシングフレーム / グリップリング
    装置外寸 W2700 × D1700 × H1800(㎜)
    装置重量 約 800 kg
    タイプ フルオート

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