半導体・電子部品製造装置
ウエハエキスパンダー概要
ウエハエキスパンダーはエキスパンド、グリップリングのはめ込み、テープカットをワンタッチで行うウエハ拡張装置です。
高停止精度モーター、オートカット機能、ハイストローク機能を標準搭載しており、開発・試作・量産までをこの一台で対応する事が可能です。
開発用には更に条件を振れるよう、『高速エキスパンド』（オプション）もご用意しております。
ウエハエキスパンダー製品ラインアップ
ウエハエキスパンダー
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セミオートタイプOEX-SA-シリーズ
エキスパンド、グリップリングのはめ込み、テープカットをワンタッチで行う卓上タイプのエキスパンド装置です。
対応ワークサイズ 8inch / 12inch 対応フレーム 8inchタイプ： ～ 8inchダイシングフレーム
12inchタイプ： ～ 12inchダイシングフレーム装置外寸 8inchタイプ：W480 × D600 × H564(㎜)
12inchタイプ：W600 × D720 × H648(㎜)装置重量 8inchタイプ：約 70 kg
12inchタイプ：約 80 kgタイプ セミオート -
フェイスダウンタイプOEX-FD-シリーズ
フェイスダウン拡張とステージ下部からの強制吸引により、割断時に発生するSiパーティクルの付着を限りなく抑制します。
対応ワークサイズ ～8inch 対応フレーム 6～8inchダイシングフレーム 装置外寸 W700 × D1250 × H1470(㎜) 装置重量 約 250 Kg タイプ フェイスダウン -
フルオートタイプOEX-FA-シリーズ
ダイシング後のダイシングテープの引き延ばしをおこなう装置です。
対応ワークサイズ 8inchダイシングフレーム / グリップリング 対応フレーム 8inchダイシングフレーム / グリップリング 装置外寸 W2400 × D1700 × H1800(㎜) 装置重量 約 1500 kg タイプ フルオート
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