ウエハエキスパンダー

フルオートエキスパンダーは、ダイシング後のダイシングテープの引き延ばしをおこなう装置です。
テープに貼付けられたウエハの分離・拡張、グリップリングへの固定及びテープカット、ダイシングフレームからの分離を自動で行います。

カセットにて供給されたダイシングフレームを１枚ずつ取出し、テープ加熱→引き延ばし→グリップリングはめ込み→ダイシングテープカット（グリップリング分離）を行います。
ダイシングフレームより分離されたグリップリングは、グリップリング用カセットへ収納され、ダイシングフレームは、回収用のダイシングフレームカセットへ収納されます。