半導体・電子部品製造装置
フルオート ウエハエキスパンダー
OEX-FA
-シリーズ
高精度、低パーティクル、0mm拡張
あらゆるエキスパンドに対応
あらゆるエキスパンドに対応
概要
フルオートエキスパンダーは、ダイシング後のダイシングテープの引き延ばしをおこなう装置です。
テープに貼付けられたウエハの分離・拡張、グリップリングへの固定及びテープカット、ダイシングフレームからの分離を自動で行います。
動作
カセットにて供給されたダイシングフレームを１枚ずつ取出し、テープ加熱→引き延ばし→グリップリングはめ込み→ダイシングテープカット（グリップリング分離）を行います。
ダイシングフレームより分離されたグリップリングは、グリップリング用カセットへ収納され、ダイシングフレームは、回収用のダイシングフレームカセットへ収納されます。
特長
フレーム反転機能（下向きエキスパンド）※特許申請中
エキスパンド時に発生する屑を下に落下させ、拡張後のチップへの付着を抑制。
高精度エキスパンドステージ
モーター制御による高精度なテープ拡張でより均一性、連続性のあるエキスパンドを実現。
・ステージストローク 0～50mm
・拡張スピード 0.1mm/sec~設定可
低ストローク拡張、低速度拡張など、ワイドな拡張レシピ設定が可能。
（※特許申請中）
除電ブロー機能
エキスパンド時のワークに、イオナイザの除電エアーによるクリーニングを行います。パーティクルの付着防止に効果。
ステージ温調機能
MAX80℃設定可能なステージを搭載。
仕様
8inchタイプ  |
12inchタイプ  |
| 装置寸法 | W2400 × D1700 × H1800(㎜) ※シグナルタワー等の突起部を除く |
W3200 × D2350 × H2100(㎜) ※シグナルタワー等の突起部を除く |
|---|---|---|
| 装置重量 | 約1500kg | 約2000kg |
| 対応サイズ | 8inchダイシングフレーム 8inchグリップリング |
12inchダイシングフレーム 12inchグリップリング |
| エアー | 0.4Mpa 150L/min(ANR)以上 | 0.4Mpa 300L/min(ANR)以上 |
| 電源 | AC200V 50/60Hz 50A | |
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