半導体・電子部品製造装置

ウエハエキスパンダー

自動カット機構内蔵
セミオート ウエハエキスパンダー

OEX-SA-シリーズ
高さ、スピードを自在に調整。
自動カット機能を備えたウエハエキスパンダー。
エキスパンダ後 上部 ワークセット時は蓋を開きます
再生時間:1分27秒

概要

ウエハエキスパンダーはエキスパンド、グリップリングのはめ込み、テープカットをワンタッチで行う卓上タイプのエキスパンド装置です。

用途

モーター制御による高精細エキスパンドを実現!!0.1mm単位での高さ調整、0.1mm/secでの速度調整が可能。高分解能での制御を可能とした事でエキスパンド(チップ拡張)のほか、レーザーダイシング後のウエハ分割(ブレーキング)など繊細な動作を可能としました。

また、自動カット機能を搭載したことにより、グリップリングのはめこみ、拡張、余幅テープのカットまでをスタートボタン一つのワンタッチで行います。人手による個人差やヒューマンエラーを防ぎ、余分な手間が省け作業効率のUPが見込めます。

基本操作

グリップリング(インナーリング、アウターリング)とダイシングフレームをセットして、ロック。
あとはスタートボタンを押すだけ。必要により、テーブルヒーターの温調をすることも出来ます。

特長

高精細エキスパンド

モーター駆動により、高精細なエキスパンドを実現。拡張精度もUPしました。

速度・高さ調整が簡単、精密に

エキスパンドのストローク、スピードをタッチパネルでらくらく設定。
各設定をタッチパネルでデジタル入力するため、数値による管理を行う事が出来ます。 作業者、ロッド毎のバラツキを防ぎます。

ステージ温調機能

ステージ内蔵ヒーターにより、常温~80℃までの温調が可能。テープの拡張性を広げます。

コンパクトデザイン

テーブルトップタイプのコンパクト設計ながらも、自動カット機能を内蔵。
ワンタッチでカットまで行うセミオートとしては格段にコンパクト!!

フルオート対応

ご要望に応じてフルオートへの対応も可能。
一連の作業のさらなる自動化が図れます。

大型タッチパネル

仕様

8inch 12inch
寸法 W480 × D600 × H564(㎜) W600 × D720 × H648(㎜)
重量 約 60 kg 約 80 kg
拡張高さ 10mm ~ 55mm 停止精度 ±0.1mm 10mm ~ 55mm 停止精度 ±0.1mm
昇降速度 1 ~ 20mm/sec 0.1mm/s単位での調整可能 1 ~ 20mm/sec 0.1mm/s単位での調整可能
温度調整 室温 ~ 80°C 室温 ~ 80°C 
対応サイズ 8inchダイシングフレーム 12inchダイシングフレーム
エアー 0.4 ~ 0.5Mpa以上 5L/min以上 0.4 Mpa以上 10L/min以上
電源 AC100V 50/60Hz 10A AC220V ±10% 50/60Hz 20A

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