半導体・電子部品製造装置

ウエハエキスパンダー

自動カット機構内蔵
セミオートウエハエキスパンダー

OEX-SA-シリーズ

高さ、スピードを自在に調整。
自動カット機能を備えたウエハエキスパンダー。

再生時間：1分27秒

概要

ウエハエキスパンダーはエキスパンド、グリップリングのはめ込み、テープカットをワンタッチで行う卓上タイプのエキスパンド装置です。

モーター制御による高精細エキスパンドを実現！！0.1mm単位での高さ調整、0.1mm/secでの速度調整が可能。高分解能での制御を可能とした事でエキスパンド(チップ拡張)のほか、レーザーダイシング後のウエハ分割(ブレーキング)など繊細な動作を可能としました。

また、自動カット機能を搭載したことにより、グリップリングのはめこみ、拡張、余幅テープのカットまでをスタートボタン一つのワンタッチで行います。人手による個人差やヒューマンエラーを防ぎ、余分な手間が省け作業効率のUPが見込めます。

グリップリング(インナーリング、アウターリング)とダイシングフレームをセットして、ロック。
あとはスタートボタンを押すだけ。必要により、テーブルヒーターの温調をすることも出来ます。

モーター駆動により、高精細なエキスパンドを実現。拡張精度もUPしました。

エキスパンドのストローク、スピードをタッチパネルでらくらく設定。
各設定をタッチパネルでデジタル入力するため、数値による管理を行う事が出来ます。作業者、ロッド毎のバラツキを防ぎます。

ステージ内蔵ヒーターにより、常温～80℃までの温調が可能。テープの拡張性を広げます。

テーブルトップタイプのコンパクト設計ながらも、自動カット機能を内蔵。
ワンタッチでカットまで行うセミオートとしては格段にコンパクト！！

ご要望に応じてフルオートへの対応も可能。
一連の作業のさらなる自動化が図れます。