自動カット機構内蔵
セミオート ウエハエキスパンダー
ウエハエキスパンダーはエキスパンド、グリップリングのはめ込み、テープカットをワンタッチで行う卓上タイプのエキスパンド装置です。
モーター制御による高精細エキスパンドを実現!!0.1mm単位での高さ調整、0.1mm/secでの速度調整が可能。高分解能での制御を可能とした事でエキスパンド(チップ拡張)のほか、レーザーダイシング後のウエハ分割(ブレーキング)など繊細な動作を可能としました。
また、自動カット機能を搭載したことにより、グリップリングのはめこみ、拡張、余幅テープのカットまでをスタートボタン一つのワンタッチで行います。人手による個人差やヒューマンエラーを防ぎ、余分な手間が省け作業効率のUPが見込めます。
グリップリング(インナーリング、アウターリング)とダイシングフレームをセットして、ロック。
あとはスタートボタンを押すだけ。必要により、テーブルヒーターの温調をすることも出来ます。
モーター駆動により、高精細なエキスパンドを実現。拡張精度もUPしました。
エキスパンドのストローク、スピードをタッチパネルでらくらく設定。
各設定をタッチパネルでデジタル入力するため、数値による管理を行う事が出来ます。
作業者、ロッド毎のバラツキを防ぎます。
ステージ内蔵ヒーターにより、常温~80℃までの温調が可能。テープの拡張性を広げます。
テーブルトップタイプのコンパクト設計ながらも、自動カット機能を内蔵。
ワンタッチでカットまで行うセミオートとしては格段にコンパクト!!
ご要望に応じてフルオートへの対応も可能。
一連の作業のさらなる自動化が図れます。
8inch | 12inch | |
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寸法 | W480 × D600 × H564(㎜) | W600 × D720 × H648(㎜) |
重量 | 約 70 kg | 約 80 kg |
拡張高さ | 15mm ~ 55mm 停止精度 ±0.1mm | 15mm ~ 100mm 停止精度 ±0.1mm |
昇降速度 | 1 ~ 20mm/sec 0.1mm/s単位での調整可能 | 1 ~ 100mm/sec 0.1mm/s単位での調整可能 |
温度調整 | 室温 ~ 80°C | 室温 ~ 80°C |
対応サイズ | 8inchダイシングフレーム | 12inchダイシングフレーム |
エアー | 0.4 Mpa以上 10L/min以上 | 0.4 Mpa以上 10L/min以上 |
電源 | AC100V 50/60Hz 10A | AC200V ±10% 50/60Hz 20A |