半導体・電子部品製造装置

テープリムーバー

テープリムーバー概要

テープリムーバーは、ウエハや基板上に張り付けたBG(バックグラインド)テープなどの保護フィルムを、
剥離テープを使って剥がす装置です。

テープリムーバー

  • マニュアルタイプ
    OTR-M-シリーズ

    ウエハ及び基板に貼りつけられたBG(バックグラインド)テープなどの保護テープを手動で剥がすマニュアルタイプのテープ剥がし機です。

    対応ワークサイズ テープ付きウエハおよび基板
    対応フレーム 6 inch / 8 inch
    装置外寸  8inchタイプ :W500 × D810 × H430(㎜)
    12inchタイプ:W650 × D980 × H430(㎜)
    装置重量  8inchタイプ :約 30 ㎏
    12inchタイプ:約 70 ㎏
    タイプ アニュアル
  • セミオートタイプ
    OTR-SA-シリーズ

    ウエハ及び基板に貼りつけられたBG(バックグラインド)テープなどの保護テープを剥がすセミオートタイプのテープ剥がし機です。

    対応ワークサイズ テープ付きウエハおよび基板
    対応フレーム 6inch / 8inch
    フルカバー仕様 : 8inch / 12inch
    装置外寸 W680 × D910 × H510(㎜)
    装置重量 約 70 kg ~ 80 kg
    タイプ セミオート
  • 超音波テープレスタイプ
    OTR-FA-シリーズ

    ダイシングリング・ウエハに貼られた保護テープを剥離するテープ剥がし機です。

    対応ワークサイズ 6、8inchウエハ / 8inchダイシングフレーム
    対応フレーム 5inchタイプ :4、5inch
    8inchタイプ :6、8inch
    装置外寸 5inchタイプ :W2670 × D1080 × H1800(㎜)
    8inchタイプ :W2900 × D1300 × H1800(㎜)
    装置重量 5inchタイプ :約 1500 ㎏
    8inchタイプ :約 1800 ㎏
    タイプ フルオート
  • フルオートタイプ
    OTR-FA-シリーズ

    ウエハ上に貼られた保護フィルムを剥離する装置です。

    対応ワークサイズ BGテープ その他保護フィルム付ウエハ
    装置外寸 W2200 × D1500 × H1800(㎜)
    タイプ フルオート

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