テープリムーバー概要

テープリムーバー製品ラインアップ

• マニュアルタイプ

  OTR-M-シリーズ
  
• セミオートタイプ

  OTR-SA-シリーズ
  
• 超音波テープレスタイプ

  OTR-FA-シリーズ
  
• フルオートタイプ

  OTR-FA-シリーズ
  

テープリムーバー

• マニュアルタイプ

  OTR-M-シリーズ

  ウエハ及び基板に貼りつけられたBG(バックグラインド)テープなどの保護テープを手動で剥がすマニュアルタイプのテープ剥がし機です。

  

  対応ワークサイズ	テープ付きウエハおよび基板
  対応フレーム	6 inch / 8 inch
  装置外寸	8inchタイプ ：W500 × D810 × H430(㎜) 12inchタイプ：W650 × D980 × H430(㎜)
  装置重量	8inchタイプ ：約 30 ㎏ 12inchタイプ：約 70 ㎏
  タイプ	アニュアル

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• セミオートタイプ

  OTR-SA-シリーズ

  ウエハ及び基板に貼りつけられたBG(バックグラインド)テープなどの保護テープを剥がすセミオートタイプのテープ剥がし機です。

  

  対応ワークサイズ	テープ付きウエハおよび基板
  対応フレーム	6inch / 8inch フルカバー仕様 : 8inch / 12inch
  装置外寸	W680 × D910 × H510(㎜)
  装置重量	約 70 kg ～ 80 kg
  タイプ	セミオート

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• 超音波テープレスタイプ

  OTR-FA-シリーズ

  ダイシングリング・ウエハに貼られた保護テープを剥離するテープ剥がし機です。

  

  対応ワークサイズ	6、8inchウエハ / 8inchダイシングフレーム
  対応フレーム	5inchタイプ ：4、5inch 8inchタイプ ：6、8inch
  装置外寸	5inchタイプ ：Ｗ2670 × Ｄ1080 × Ｈ1800(㎜) 8inchタイプ ：Ｗ2900 × Ｄ1300 × Ｈ1800(㎜)
  装置重量	5inchタイプ ：約 1500 ㎏ 8inchタイプ ：約 1800 ㎏
  タイプ	フルオート

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• フルオートタイプ

  OTR-FA-シリーズ

  ウエハ上に貼られた保護フィルムを剥離する装置です。

  

  対応ワークサイズ	BGテープ　その他保護フィルム付ウエハ
  装置外寸	Ｗ2200 × Ｄ1500 × Ｈ1800(㎜)
  タイプ	フルオート

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