半導体・電子部品製造装置

テープリムーバー

超音波テープレスリムーバー

OTR-FA-シリーズ
次世代の常識?!
剥がしテープ不要
超音波テープレスリムーバー

概要

ダイシングリング・ウエハに貼られた保護テープを剥離する装置です。
剥がしユニットに業界初の超音波溶着ヘッドを採用。
剥離したテープを溶着し使用することで、剥がし用テープ無しでの剥離が可能です。

特長

テープレス

独自開発の剥がしユニットの採用で、業界では常識の剥がし用テープが不要です。
テープコスト”0”。

コンパクト設計

フットスペースを最小限に抑えたコンパクト設計。

カスタム対応

ヒーター内蔵テーブル、薄ワーク用搬送アームなどワークに合わせた対応が可能です。

環境に配慮

剥がし用テープを使用しないため、廃棄ゴミも減らせます。

溶着ヘッド部

仕様

フルオートタイプ 
装置動作方式 フルオート
寸法 W12900 × D1300 × H1800(㎜)
重量 約 1800 kg
対象ワーク ~8inchウエハ / ~8inchダイシングフレーム
ワークテーブル ワーク外周のみ接触対応可
電源 三相 AC200V

CONTACT

お問い合わせ
製品・点検校正等に関するお問い合わせ
0865-60-0038
装置周辺機器のオーバーホール
に関するお問い合わせ
0743-62-2600
月~金 9:00~12:00,13:00~17:30(祝日・当社休日を除く)
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