半導体・電子部品製造装置
テープリムーバー
超音波テープレスリムーバー
OTR-FA-シリーズ
次世代の常識？！
剥がしテープ不要
剥がしテープ不要
概要
ダイシングリング・ウエハに貼られた保護テープを剥離する装置です。
剥がしユニットに業界初の超音波溶着ヘッドを採用。
剥離したテープを溶着し使用することで、剥がし用テープ無しでの剥離が可能です。
特長
テープレス
独自開発の剥がしユニットの採用で、業界では常識の剥がし用テープが不要です。
テープコスト”0”。
コンパクト設計
フットスペースを最小限に抑えたコンパクト設計。
カスタム対応
ヒーター内蔵テーブル、薄ワーク用搬送アームなどワークに合わせた対応が可能です。
環境に配慮
剥がし用テープを使用しないため、廃棄ゴミも減らせます。
仕様
|
| 装置動作方式 | フルオート | |
|---|---|---|
| 寸法 | W2900 × D1300 × H1800(㎜) | |
| 重量 | 約 1800 kg | |
| 対象ワーク | ～8inchウエハ / ～8inchダイシングフレーム | |
| ワークテーブル | ワーク外周のみ接触対応可 | |
| 電源 | 三相 AC200V | |
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