半導体・電子部品製造装置
フルオートテープリムーバー
OTR-FA-シリーズ
BGテープを剥がす全自動テープ剥がし機。
オリフラ合わせ・センタリング機能付き
オリフラ合わせ・センタリング機能付き
概要
フルオートテープリムーバーは、ウエハ上に貼られた保護フィルムを剥離する装置です。
カセットで供給されたウエハをアライナーで位置決めし、テープ剥離後同一カセットに排出します。
特長
薄厚ワーク対応
独自の剥離機構の採用によりウエハへのストレスを最小限に抑え、薄ウエハにも対応可能。
オプションで非接触での剥離にも対応。
アライメント機能
剥離前にアライメントテーブルでオリフラ・ノッチの角度位置合せとセンタリングを行います。
剥離角度の任意設定も可能。
タクト調整機能
テープ剥離速度、搬送速度等をタッチパネルにて設定が可能。 ワークにあわせた調整が可能です。
静電気対策
イオナイザーを標準装備。
テープ空検知
剥離用テープの残量をセンサで検知。残量が5ｍ（設定変更可）になるとアラームで通知。無駄な装置停止をなくします。
仕様
|
| 寸法 | W2200 × D1500 × H1800(㎜) | |
|---|---|---|
| 対象ワーク | BGテープ その他保護フィルム付ウエハ | |
| タクト | 120sec / 枚 | |
| 駆動エア | 0.4MPa以上、150L/min（ANR）以上 | |
| 真空源 | 工場真空と真空エジェクタを併用 | |
| 電源 | ３相200V 30A | |
- ■ウエハ飛出し検知機能
- カセットにセットされたウエハの飛出しを検知します。
搬送時にアームとの接触による割れを防ぎます。 - ■安全
- 扉インターロック、シグナルタワー
- ■オプション
- FFU、上位通信
CONTACT
お問い合わせ
- トップ
- 半導体・部品製造装置
- テープリムーバー
- フルオートテープリムーバー