テープリムーバー

セミオートテープリムーバー  -Semiautomatic Tape Remover-

テープの剥離ミスを解消。
製品の品質向上と均一化をこの一台で担います。
 セミオートテープリムーバーは、ウエハ及び基板に貼りつけられたBG(バックグラインド)テープなどの保護テープを剥がすセミオートタイプのテープ剥がし機です。

セミオートテープリムーバーの特長

簡単操作&省スペース設計!

簡単操作&省スペース設計!
ワークセット後、スイッチ操作だけの簡単操作。
個人差の無い剥離プロセスが可能です。
設置場所が限定されない、省スペース設計。

各種インターロック

操作パネル
ウエハの有無、吸着圧、安全カバー、テーブル温度などのセミオートならではの起動条件の設定が可能。

各種ワークに対応

テーブル
OKKのテープ剥がし機は、ワークに合わせたテーブルのカスタマイズが可能。全面吸着しますので、大型薄型反りのあるウエハの剥離も容易です。
テーブルの交換も容易にできるため、多品種を扱う生産現場で効力を発揮します。

製品仕様


  • フルカバー仕様
対象ワーク テープ付きウエハおよび基板
ワークサイズ 6インチ・8インチ / 8インチ・12インチ
適応テープ BGテープ その他保護フィルム 幅:50∼100mm
テーブル仕様 A5056 テフロンコーティング / ポーラス(オプション)
装置外寸 W680o×D910o×H510o
装置重量 70kg ∼ 80kg
電  源 AC 100V 10A 3mケーブル付
駆動エア 0.5Mpa Φ6ワンタッチ継手