ワークセット後、スイッチ操作だけの簡単操作。
個人差の無い剥離プロセスが可能です。
設置場所が限定されない、省スペース設計。

ウエハの有無、吸着圧、安全カバー、テーブル
温度などのセミオートならではの起動条件の設定
が可能。

ワークに合わせたテーブルのカスタマイズが可能。全面吸着しますので、大型薄型反りのあるウエハの剥離も容易です。 テーブルの交換も容易にできるため、多品種を扱う生産現場で効力を発揮します。