半導体・電子部品製造装置

テープリムーバー

セミオートテープリムーバー

OTR-SA-シリーズ
テープの剥離ミスを解消。
製品の品質向上と均一化をこの一台で担います。
セミオートテープリムーバー
剥離速度は3種類から選択 テープ押さえ
再生時間:1分35秒

概要

セミオートテープリムーバーは、ウエハ及び基板に貼りつけられたBG(バックグラインド)テープなどの保護テープを剥がすセミオートタイプのテープ剥がし機です。

特長

簡単操作&省スペース設計!

簡単操作&省スペース設計!

ワークセット後、スイッチ操作だけの簡単操作。
個人差の無い剥離プロセスが可能です。
設置場所が限定されない、省スペース設計。

各種インターロック

各種インターロック

ウエハの有無、吸着圧、安全カバー、テーブル
温度などのセミオートならではの起動条件の設定
が可能。

各種ワークに対応

各種ワークに対応

ワークに合わせたテーブルのカスタマイズが可能。全面吸着しますので、大型薄型反りのあるウエハの剥離も容易です。 テーブルの交換も容易にできるため、多品種を扱う生産現場で効力を発揮します。

仕様

    セミオートタイプ
寸法 W680 × D910 × H510(㎜)
重量 約 70kg ~ 80 kg
対象ワーク テープ付きウエハおよび基板
ワークサイズ 6inch・8inch / 8inch・12inch
適応テープ BGテープ その他保護フィルム 幅:50~100mm
テーブル仕様 A5056 テフロンコーティング / ポーラス(オプション)
駆動エア 0.5Mpa Φ6ワンタッチ継手
電源 AC 100V 10A 3mケーブル付

CONTACT

お問い合わせ
製品・点検校正等に関するお問い合わせ
0865-60-0038
装置周辺機器のオーバーホール
に関するお問い合わせ
0743-62-2600
月~金 9:00~12:00,13:00~17:30(祝日・当社休日を除く)
メールでのお問い合わせ
  • お問合わせフォームはこちら
  • お問合わせフォームはこちら
  • お問合わせフォームはこちら
  • お問合わせフォームはこちら
(※休業日及び営業時間外に頂いたお問い合わせは、翌営業日以降の回答となりますのでご了承ください。)

関連情報