半導体・電子部品製造装置

UV照射機

高輝度LED仕様
マニュアルUV照射機

UVI-LED-シリーズ

デュアル波長
全面一括照射対応
ムラ無く素早い紫外線照射

概要
用途
基本操作
特長
仕様

概要

マニュアルUV-LED照射機は、UV硬化型テープ糊接着剤などを硬化させる卓上型の照射機です。
光源には高輝度かつ長寿命を特長とした高品質LEDを採用。
また、幅広い波長域での照射を可能とする独自機構を備えております。

UVI-1200ML
チャンバー内部には照度センサーを配置。積算光量によるプロセス管理が可能。
また独自のLED監視機能により、万一の点灯不良も即座に発見。照射不良による製品ロスを防ぎます。

用途

標準採用の365nm波長のLEDは半導体ウエハ製造工程におけるバックグラインド時のウエハ保護フィルムの剥離、
ダイシング後のダイのピックアップなどUV硬化樹脂材の硬化に優れ、研究開発から生産現場までさまざまな用途でご使用頂けます。

基本操作

上部カバーを開けワークをセットし、スイッチ操作によりUV照射を行います。
照射条件は正面のタッチパネルから簡単入力。
設定された積算照射量（または積算時間）になるとランプは消灯、ブザーの発報によりお知らせします。

特長

選べる照射パターン

照射設定は、積算光量or照射時間に加えて波長を設定可能。

N₂パージ対応

N₂パージ時間を任意に設定、酸素阻害による硬化不良を防ぎます。

安心設計

オゾン発生が無く　長寿命なECO仕様。
点灯時に蓋を開けた場合には自動消灯する安全機能付き。

コンパクトデザイン・大型ワークに対応

テーブルトップタイプのコンパクト設計ながら最大12inchダイシングフレームに対応。
タッチパネル：7inch　テーブルサイズ：Ｗ380mm×Ｄ380mm

大型モニター・多言語対応

大型のタッチパネルを搭載。視認性・操作性に優れます。
また、タッチパネルは日本語・英語・中国語の3種類から選択可能です。
開閉方式の為、使用性はもちろん、LED切れ確認・基板交換などのメンテナンス性にも優れております。

タッチパネル

照射マスク（オプション）

オプションのマスクを使用することで不要な部分への紫外線照射を行わず、必要な箇所（ウエハ／チップ）のみに照射することが出来ます。
また、マスクはワンタッチで簡単に取り替えることが出来、簡単に異サイズワークへ切り替えることが可能です。

仕様

寸法	W600 × D700 × H347(㎜)
重量	約60 kg
照射エリア	W380 × D380(㎜)
対象ワーク	6inch ダイシングフレーム 8inch ダイシングフレーム 12inch ダイシングフレーム
光源	デュアル波長LED光源
UV照度	50mW/cm2以上（目安）
N₂	0.4～0.5Mpa　100L/min
電源	AC200V～240V　50/60Hz　20A