ウエハマウンター

ウエハマウンター概要

マウンター製品ラインアップ

• マニュアルタイプ

  OMN-シリーズ
  
• セミオートタイプ

  OTM-シリーズ
  
• 真空貼り付け装置

  OVM-シリーズ
  
• セミオート真空マウンター

  OVM-SA-シリーズ
  
• フルオートタイプ

  OTM-FA-シリーズ
  
• 転写装置

  OCT-シリーズ
  

マウンター

• マニュアルタイプ

  OMN-シリーズ

  ダイシングテープ･バックグラインド（BG）保護テープ･ドライフィルム・ダイアタッチフィルム（DAF）など、各種テープをフレームやワークに貼り付ける手動タイプの貼付装置です。

  

  対応ワークサイズ	～8inchウエハ、～12inchウエハ 及び 各種基板
  対応フレーム	～8inchウエハ、12inchフレーム
  装置外寸	8inchタイプ ：W540 × D840 × H420(㎜) 12inchタイプ ：W650 × D980 × H430(㎜)
  装置重量	8inchタイプ ：約 50 ㎏ 12inchタイプ ：約 60 ㎏
  タイプ	マニュアル

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• セミオートタイプ

  OTM-シリーズ

  プリカットユニットを内蔵したラミネートとマウントの機能を持つセミオートタイプのテープ貼付装置です。

  

  対応ワークサイズ	～8inch / ～12inch
  対応フレーム	8inch タイプ：6inch～ 8inchダイシングフレーム 12inchタイプ：8inch～12inchダイシングフレーム
  装置外寸	8inchタイプ ：W600 × D1170 × H1130(㎜) 12inchタイプ：W715 × D1330 × H1155(㎜)
  装置重量	8inchタイプ ：約260㎏ 12inchタイプ：約360㎏
  タイプ	セミオート

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• 真空貼り付け装置

  OVM-シリーズ

  各種パラメーターを数値化しレシピに組み込むことで、作業者によるバラツキを抑え、テンションフリー、ボイドレスな貼り付けを実現。

  

  対応ワークサイズ	～8inch / ～12inch
  対応フレーム	8inch タイプ：6inch～ 8inchダイシングフレーム 12inchタイプ：8inch～12inchダイシングフレーム
  装置外寸	8inchタイプ： W500 × D770 × H1010(㎜) 12inchタイプ： W613 × D873 × H1035(㎜)
  装置重量	8inchタイプ：約 110 kg 12inchタイプ：約 150 kg
  タイプ	真空マニュアル

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• セミオート真空マウンター

  OVM-SA-シリーズ

  ウエハを真空チャンバー内で貼付けすることができるセミオートタイプのテープマウンターです。

  

  対応ワークサイズ	～8inch
  対応フレーム	6inch / 8inchダイシングフレーム
  装置外寸	W760 × D1200 × H1600(㎜)
  装置重量	約 350 kg
  タイプ	真空セミオート

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• フルオートタイプ

  OTM-FA-シリーズ

  ダイシング前、ウエハをダイシングフレーム(テープフレーム)にマウントするフルオートタイプの装置です。

  

  対応ワークサイズ	～8inch
  対応フレーム	6inchダイシングフレーム 8inchダイシングフレーム
  装置外寸	8inchタイプ ：W1700 × D2000 × H1820(㎜)
  装置重量	約 1400 kg
  タイプ	フルオート

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• 転写装置

  OCT-シリーズ

  ダイシングフレームにマウントされたウエハを別のフレームに独自の転写技術で写し替える装置です。

  

  対応フレーム	6inch　ダイシングフレーム
  装置外寸	W1700 × D2000 × H1820(㎜)
  装置重量	約 1400 kg

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