半導体・電子部品製造装置

ウエハマウンター

ウエハマウンター概要

当社のテープマウンターは、
【テープをワークに貼り付けるラミネーター】と【テープをリングに貼り各種ワークを載せるテープマウンター(フィルムマウンター・ウエハマウンター)】の二つの機能を持つテープ貼付装置です。

Point 1
適用テープ
  • ダイシングテープ
  • バックグラインド(BG)保護テープ
  • ダイアタッチフィルム(DAF)プリント配線板用感光性フィルム(DF(ドライフィルム)
  • DFR(ドライフィルムレジスト))などの機能性フィルム
Point 1
ラインアップ
  • ■手動で貼る・切るを行うマニュアル
  • ■ウエハやワークをセットし、ボタンを押してラミネート・マウントを行うセミオート
  • ■ローダーにカセットをセット後、自動で貼り付けを行いアンローダーまで搬送させるフルオート

また他の装置と通信・搬送をつなぎ一対で動作させるインライン型もあり、用途に応じてお選びいただけます。

Point 1
用途

【ダイシング用途】

ウェハダイシング時に、チップが飛散しないように保持するため、ダイシングフレーム(ダイシングリング、リングフレーム、リング)に
テープを貼りウエハを保持(ウェハマウント)します。
ウェハマウンター・フィルムマウンター・テープマウンターと呼ばれています。 ダイシングやその後の検査・エキスパンド(拡張)などの
工程で切断・テープ拡張・チップ剥離がスムーズに行えるよう位置決め、気泡フリー、テープテンションを確かなものにします。

ダイシングフィルムとダイボンドフィルムを一体化したDAFテープの貼付け用途として、高温仕様のヒーターを配したテープマウンター
(ウェハマウンター)もラインアップしております。『DAF用途』

【保護(バックグラインド)用途】

ウェハーなどのワークを薄厚化するためのウェハー裏面バックグラインド時に、ウェハ表面を保護するためにバックグラインド(BG)保護用テープを貼り付けます。

Point 1
共通オプション
  • 異サイズ兼用、ウェハマウンター・BG保護用テープラミネート兼用
  • マウントテーブルヒーター/温調機能
  • テーブル交換
  • テーブルカスタム(ウェハ用、基板用、MEMS用、ガラス・サファイア用)
  • ユニバーサルテーブル、ポーラステーブル(全面吸着)、パターン面非接触
  • テーブル高さ調整
  • イオナイザー

マウンター

  • マニュアルタイプ
    OMN-シリーズ

    ダイシングテープ・バックグラインド(BG)保護テープ・ドライフィルム・ダイアタッチフィルム(DAF)など、各種テープをフレームやワークに貼り付ける手動タイプの貼付装置です。

    対応ワークサイズ ~8inchウエハ、~12inchウエハ 及び 各種基板
    対応フレーム ~8inchウエハ、12inchフレーム
    装置外寸  8inchタイプ :W540 × D840 × H420(㎜)
    12inchタイプ :W500 × D811 × H424(㎜)
    装置重量  8inchタイプ :約 50 ㎏
    12inchタイプ :約 70 ㎏
    タイプ マニュアル
  • セミオートタイプ
    OTM-シリーズ

    プリカットユニットを内蔵したラミネートとマウントの機能を持つセミオートタイプのテープ貼付装置です。

    対応ワークサイズ ~8inch / ~12inch
    対応フレーム  8inch タイプ:6inch~ 8inchダイシングフレーム
    12inchタイプ:8inch~12inchダイシングフレーム
    装置外寸  8inchタイプ :W600 × D1170 × H1130(㎜)
    12inchタイプ:W715 × D1330 × H1155(㎜)
    装置重量  8inchタイプ :約260㎏
    12inchタイプ:約360㎏
    タイプ セミオート
  • 真空貼り付け装置
    OVM-シリーズ

    各種パラメーターを数値化しレシピに組み込むことで、作業者によるバラツキを抑え、テンションフリー、ボイドレスな貼り付けを実現。

    対応ワークサイズ ~8inch / ~12inch
    対応フレーム  8inch タイプ:6inch~ 8inchダイシングフレーム
    12inchタイプ:8inch~12inchダイシングフレーム
    装置外寸  8inchタイプ: W500 × D770 × H1010(㎜)
    12inchタイプ: W613 × D873 × H1035(㎜)
    装置重量  8inchタイプ:約 110 kg
    12inchタイプ:約 150 kg
    タイプ 真空マニュアル
  • セミオート真空マウンター
    OVM-SA-シリーズ

    ウエハを真空チャンバー内で貼付けすることができるセミオートタイプのテープマウンターです。

    対応ワークサイズ ~8inch
    対応フレーム 6inch / 8inchダイシングフレーム
    装置外寸 W760 × D1200 × H1600(㎜)
    装置重量 約 350 kg
    タイプ 真空セミオート
  • フルオートタイプ
    OTM-FA-シリーズ

    ダイシング前、ウエハをダイシングフレーム(テープフレーム)にマウントするフルオートタイプの装置です。

    対応ワークサイズ ~8inch
    対応フレーム 6inchダイシングフレーム
    8inchダイシングフレーム
    装置外寸 8inchタイプ :W1700 × D2000 × H1820(㎜)
    装置重量 約 1400 kg
    タイプ フルオート
  • 転写装置
    OCT-シリーズ

    ダイシングフレームにマウントされたウエハを別のフレームに独自の転写技術で写し替える装置です。

    対応フレーム 12inch ダイシングフレーム
    装置外寸 W1700 × D2000 × H1820(㎜)
    装置重量 約 1400 kg

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0743-62-2600
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