ウエハマウンター

パターン面を吸着しない貼付けが可能です。
吸着によるダメージを防止し、極薄ウエハ、MEMSなど繊細なウエハに配慮した貼付方法を提案します。

アライナーは当社独自の非接触方式を採用。
外周数mmのみの吸着によるアライメントを行うことで、製品エリアへの吸着痕、パーティクルの付着およびエッジクランプで生じるエッジ欠けなどの心配がありません。

非接触による搬送の対応も可能です。
外周吸着ハンドやベルヌーイハンドなど様々なハンドを取り付け可能です。
反り・たわみのあるウエハに対しても、搬送方法の検証を行い御提案させて頂きます。

テープの消費量を極力抑え、ダイシングフレーム(テープフレーム)への傷の発生やフレームとカッターの接触による金属粉の発生を抑えたユニークな貼付けを提案致します。
また、オプションの真空貼付けにより、近年IGBTなどで注目を集めるTAIKOウエハのような段差や凹凸のあるウエハに追従した貼付けやMEMSウエハ、薄厚ウエハなど脆弱なウエハへの低テンション貼付けが可能です。