半導体・電子部品製造装置

ウエハマウンター

フルオートウエハマウンター

OTM-FA-シリーズ
要求仕様にフレキシブルに対応するフルオートタイプ
フルオートウエハマウンター

概要

フルオートウエハマウンターは、ダイシング前、ウエハをダイシングフレーム(テープフレーム)にマウントするフルオートタイプの装置です。

ウエハカセットからの【ウエハ取出し】→【アライメント】→【ダイシングフレームへのテープ貼付け】→【ウエハマウント】→【所定のマガジンへの収納】まで一連の動作を自動で行います。


  • 装置内でのインラインカット
  • ロール/プリカットテープ対応
  • タッチパネルによる簡単操作
  • 多彩なレシピ選択による貼付・収納パターン
  • 真空貼付ユニット搭載可能(オプション)
  • ウエハマウント後の保護テープはく離搭載可能(オプション)
  • BG保護テープ用UV照射ユニット搭載可能(オプション)
  • ウエハ以外のワークも対応可能(オプション)
  • SECS通信対応(オプション)

特長

パターン面非接触貼付

パターン面非接触貼付

パターン面を吸着しない貼付けが可能です。
吸着によるダメージを防止し、極薄ウエハ、MEMSなど繊細なウエハに配慮した貼付方法を提案します。

異サイズ兼用非接触アライメント

異サイズ兼用非接触アライメント

アライナーは当社独自の非接触方式を採用。
外周数mmのみの吸着によるアライメントを行うことで、製品エリアへの吸着痕、パーティクルの付着およびエッジクランプで生じるエッジ欠けなどの心配がありません。

パターン面非接触ハンドリング

パターン面非接触ハンドリング

非接触による搬送の対応も可能です。
外周吸着ハンドやベルヌーイハンドなど様々なハンドを取り付け可能です。
反り・たわみのあるウエハに対しても、搬送方法の検証を行い御提案させて頂きます。

貼付け

貼付け

テープの消費量を極力抑え、ダイシングフレーム(テープフレーム)への傷の発生やフレームとカッターの接触による金属粉の発生を抑えたユニークな貼付けを提案致します。
異サイズとの兼用、複数のテープ運用に対しても多彩なレシピ設定により対応致します。

さまざまなタイプをラインアップ

多様なオプション群

多彩なワークサイズ対応:4”6”inch以下型、4”5”6”8”兼用機、6”8”兼用機
拡張性:剥離機構搭載、UV照射搭載、真空ユニット搭載、前後工程とのインライン型
さまざまなタイプをラインアップしておりますのでお問い合わせ下さい。

各種カット

再生時間:1分34秒
再生時間:46秒

CONTACT

お問い合わせ
製品・点検校正等に関するお問い合わせ
0865-60-0038
装置周辺機器のオーバーホール
に関するお問い合わせ
0743-62-2600
月~金 9:00~12:00,13:00~17:30(祝日・当社休日を除く)
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