セミオート真空マウンター
ウエハを真空チャンバー内で貼付けすることができるセミオートタイプのテープマウンターです。
当社独自のプリカットユニットも標準搭載しており、ダイシングフレームとウエハをセットするだけで高品質な貼付けを簡単・低ランニングコストで実現できます。
ローラーを用いない独自の非接触差圧貼付け方式を採用(特許)。製品へのダメージを低減することが出来ます。 プリカット機構併用でリングフレームへのダメージと発塵がゼロ!
当社独自開発のプリカット方式を採用。 通常のロールで取り数が約40%UP、プリカットテープと比較しても10%UPを実現。
『割れ易いウエハをピンセットで搬送してるんですが、時々割っちゃって・・・』
そんなお悩みもこれがあれば解決。全面吸着なのにシースルー仕様となっている為、ウエハを目視確認しながら吸着とリリースが出来ます。
視認性の良さは作業性に直結します。
試作、条件出しをする際に一度貼ったテープを剥がしたい・・・でも装置の吸着ステージは簡単には使えない。
そんなときに吸着固定できる専用ステージは如何でしょうか。
『剥がしている時に割っちゃうんだよなぁ~』というお悩みもこれで解消。
フットプリントは業界最小。
少ないスペースで最高の投資効果を発揮。
寸法 | W760 × D1200 × H1600(㎜) | |
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重量 | 約 350 kg | |
対応ワークサイズ | ~8inch | |
対応フレーム | 6 / 8inchダイシングフレーム | |
使用テープ | [幅:300mm]×[外径:max.φ200]×[内径:φ76 ∼ 77] | |
到達真空度 | 30Pa以下 | |
貼付精度 | ±1mm以内 |