半導体・電子部品製造装置

ウエハマウンター

セミオート真空マウンター

OVM-SA-シリーズ
高品質な貼付けを、低コストで実現!!
セミオートテープリムーバー
特殊形状のウエハにも対応

概要

ウエハを真空チャンバー内で貼付けすることができるセミオートタイプのテープマウンターです。
当社独自のプリカットユニットも標準搭載しており、ダイシングフレームとウエハをセットするだけで高品質な貼付けを簡単・低ランニングコストで実現できます。

特長

非接触貼付(特許) ノンダメージ

簡単操作&省スペース設計!

ローラーを用いない独自の非接触差圧貼付け方式を採用(特許)。製品へのダメージを低減することが出来ます。 プリカット機構併用でリングフレームへのダメージと発塵がゼロ!

廃棄幅『0』(特許)

廃棄幅0

当社独自開発のプリカット方式を採用。 通常のロールで取り数が約40%UP、プリカットテープと比較しても10%UPを実現。

ウエハ ハンドリング治具

ハンドリング治具

『割れ易いウエハをピンセットで搬送してるんですが、時々割っちゃって・・・』 そんなお悩みもこれがあれば解決。全面吸着なのにシースルー仕様となっている為、ウエハを目視確認しながら吸着とリリースが出来ます。
視認性の良さは作業性に直結します。

リワーク用の吸着ステージ

リワーク用の吸着ステージ

試作、条件出しをする際に一度貼ったテープを剥がしたい・・・でも装置の吸着ステージは簡単には使えない。 そんなときに吸着固定できる専用ステージは如何でしょうか。
『剥がしている時に割っちゃうんだよなぁ~』というお悩みもこれで解消。

コンパクト設計

フットプリントは業界最小。
少ないスペースで最高の投資効果を発揮。

仕様

寸法 W760 × D1200 × H1600(㎜)
重量 約 350 kg
対象ワーク ~8inch
対応フレーム 6 / 8inchダイシングフレーム
使用テープ [幅:300mm]×[外径:max.φ200]×[内径:φ76 ∼ 77]
到達真空度 30Pa以下
貼付精度 ±1mm以内

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