マニュアルウエハマウンターは、ダイシングテープ・バックグラインド(BG)保護テープ・ドライフィルム・ダイアタッチフィルム(DAF)など、各種テープをフレームやワークに貼り付ける手動タイプの貼付装置です。
8inchフレームまで対応可 / 12inchフレームまで対応可のタイプが選択可能です。また、それぞれ用途によりテーブル・各オプションを用意しております。
ローラーの貼付け圧調整機能付きで、個人差無くきれいな貼り付けが可能です。
計算されたテーブル設計でテープの廃棄幅を極限まで少なくし、ランニングコストにも配慮した設計です。
セパレータ自動巻取り機構により、使用済みのセパレータは自動でセパレータパイプに回収されます。 ワンウェイベアリングがテープの逆回転を防止しトラブルを防ぎます。
マウントテーブルはテフロンコート仕上げ。意図しない場所への貼りつきを抑え、スムーズにテープ剥離が行えます。 フレーム吸着用のパットを無くすことで、メンテナンス性も考慮されています。
計算されたテーブル設計でテープの廃棄幅を極限まで少なくし、ランニングコストにも配慮した設計です。
テープホルダー部カバー及びサークルカッター部窓にUVカット樹脂を使用しているので、UVテープも対応可能です。
マウントテーブル高調整機構の追加で多種のワーク厚に対応することができます。±1㎜の範囲での調整が可能です。
難粘着性のテープ貼りつけ用にマウントテーブルの温調が可能です。 DAF(ダイアタッチフィルム)一体型ダイシングテープの貼付けにも対応します。
静電対策が必要なワークにはイオナイザー(静電気除去装置)をご用意いたします。
ワークにあわせた各種マウントテーブルの製作が可能です。(ポーラス・ユニバーサル等)ウエハの他にも、基板・リードフレーム用も対応します。 BG(バックグラインド)テープ兼用機も対応可能です。
8inch | 12inch | |
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寸法 | W540 × D840 × H420(㎜) | W650 × D980 × H430(㎜) |
対応フレーム | ~8inchフレーム | 12inchフレーム |
対応テープ | ロール形状ダイシングテープ 及び BGテープ | ロール形状ダイシングテープ 及び BGテープ |
マウントテーブル | テフロンコート 位置決め真空吸着 | テフロンコート 位置決め真空吸着 |
貼付けローラー | ウレタンゴム 硬度ショアA70 | ウレタンゴム 硬度ショアA70 |
貼付け圧力 | スプリング可変式 | スプリング可変式 |
サークルカッター | フレームサイズに合わせた真円カット | フレームサイズに合わせた真円カット |
ストレートカッター | ロール側との切り離し | ロール側との切り離し |
重量 | 約 50 kg | 約 70 kg |