お客様の開発されたデバイスをモジュール化する等、製品開発のご支援をさせて頂きます。半導体装置メーカーならではの、技術&知恵を駆使して、高い品質・生産性を実現します。
ウエハ洗浄後の乾燥機、ウエハや基板の個片化を行うダイシング周辺装置をラインアップ
ポータブルバランサー My-self1をはじめ当社独自のバランステクノロジー製品を紹介します
車載、産機、モバイル等のOLED/LCDや基板のリワーク、開発案件の試作~量産の支援事業
堆積膜の除去・再生を行う精密洗浄を中心に脱脂洗浄や塗材等の剥離など多様な『洗浄事業』を展開