お客様の開発されたデバイスをモジュール化する等、製品開発のご支援をさせて頂きます。半導体装置メーカーならではの、技術&知恵を駆使して、高い品質・生産性を実現します。
ウエハ洗浄後の乾燥機、ウエハや基板の個片化を行うダイシング周辺装置をラインアップ
ポータブルバランサー My-self1をはじめ当社独自のバランステクノロジー製品を紹介します
モバイル・FA機器基板の修理・故障解析や、LCD・OLEDのリファービッシュを行います
堆積膜の除去・再生を行う精密洗浄を中心に脱脂洗浄や塗材等の剥離など多様な『洗浄事業』を展開